本发明属于半导体技术领域，具体的说是半导体加工设备和半导体加工方法，包括底座，所述底座的上表面固定安装有安装台，所述安装台的表面开设有一组活动槽，所述活动槽的内壁均转动安装有固定杆，所述底座的表面固定安装有一组电机，所述电机的输出轴上均...