提供一种电子射线应用装置，使得即使检测器的检测灵敏度的动态范围较小，也可获得照射区域的检测数据。电子射线应用装置包括光源(2)、光电阴极(3)、检测器(5)以及控制部(6)，控制部(6)进行控制，将由光电阴极(3)射出的电子束(B)向照...

本发明提供一种可使光电阴极长寿命化的电子枪

本发明提供一种仅以电子枪所具有的结构部件，即能够设定为可对于照射对象的所希望的位置照射具有所希望的电子束参数的电子束的电子枪，其包括：光源；光电阴极，依据来自所述光源的受光，产生可射出的电子；阳极，可在与所述光电阴极之间形成电场，且通过...

本发明提供一种能够延长光电阴极的寿命的电子枪，其包括在第一表面形成有光电阴极膜的基板、用于将激发光照射在光电阴极膜的光源、阳极、用于加热光电阴极膜和/或基板的加热装置、以及用以调整加热装置的加热温度的输出调整装置。调整装置。调整装置。

本发明提供电子枪、电子枪用组件、电子射线应用装置以及对位方法，即使在将电子枪设置于对方侧装置时的设置位置的偏移变大，仍可使电子束的射出轴对轴于对方侧装置的电子光学系统的光轴。电子枪包括：光源；真空腔；根据来自光源的受光而射出电子束的光电...

本发明要解决的问题在于提供可确认从光电阴极射出的电子束是否从设计射出中心轴偏移的电子枪。通过本发明的电子枪可解决上述问题，该电子枪包含：光源；光电阴极，依据来自光源的受光而射出电子束；以及阳极；该电子枪包含：中间电极，配置于光电阴极与阳...

本发明提供一种适用于包括光电阴极的电子枪的电子射线应用装置以及该电子射线应用装置的电子束的射出方法。本发明包括电子枪部分、本体部分以及控制部的电子射线应用装置。所述电子枪部分包括光源、通过接收自光源所照射的激发光而射出电子束的光电阴极、...

本发明提供一种在将光电阴极与透镜设置于电子枪内时，不需要调整光电阴极膜与使焦点对准光电阴极膜的透镜的距离的光电阴极套组。该光电阴极套组包含：光电阴极，包含第一面形成有光电阴极膜的基板；透镜；及固持座，保持所述基板及所述透镜；所述固持座具...

本发明的课题在于提供一种仅以电子枪所具备的构成就能够直接监视从光电阴极所发射的电子束的强度的电子枪、搭载有电子枪的电子射线应用装置以及电子枪的控制方法。为解决上述课题，本发明的电子枪包括：光源；光电阴极，因应来自光源的受光而发射电子束；...

提供一种用以将从搭载光电阴极的电子枪所射出的电子束自动地对齐于电子光学系统的入射轴的方法。搭载光电阴极的电子枪的入射轴对齐方法中，所述电子枪可以通过对所述光电阴极照射激励光来射出第一状态的电子束；所述方法至少包含：激励光照射工序；第一激...

本发明的课题在于提供一种在将电子枪搭载于合作伙伴装置后，可将电子束的焦点调整至短焦点侧以及长焦点侧的装置。本发明通过一种电子枪而可解决上述课题，其是一种包括光电阴极以及阳极的电子枪，进一步包括配置在该光电阴极与该阳极之间的中间电极。该中...

本发明提供一种从检测信号去除噪声且产生的电子束有效地用于检查的试样检查装置以及试样检查方法。试样检查装置包括用于发射频率调制光的光源、响应于频率调制光的受光而释放电子束的光电阴极、检测从电子束照射的试样释放的电子并产生检测信号的检测器以...

本发明的课题在于提供一种易于维护的电子射线产生装置以及电子射线应用装置。电子射线产生装置(1)包括真空腔室(2)、光电阴极支架(3)、活性化容器(4)以及腔室内动力传递部件(5b)。光电阴极支架能够相对于活性化容器移动。