电子枪、电子射线应用装置、使用电子枪的电子束射出方法以及电子束的焦点位置调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术的课题在于提供一种在将电子枪搭载于合作伙伴装置后，可将电子束的焦点调整至短焦点侧以及长焦点侧的装置。本发明专利技术通过一种电子枪而可解决上述课题，其是一种包括光电阴极以及阳极的电子枪，进一步包括配置在该光电阴极与该阳极之间的中间电极。该中间电极具有使自该光电阴极射出的电子束通过的电子束通过孔，且于该电子束通过孔中形成有漂移空间。该漂移空间在透过施加电压而在该光电阴极与该阳极之间形成电场时，得以忽略该电场的影响。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子枪、电子射线应用装置、使用电子枪的电子束射出方法以及电子束的焦点位置调整方法
本专利技术涉及一种电子枪、电子射线应用装置、使用电子枪的电子束射出方法以及电子束的焦点位置调整方法。
技术介绍
已知有搭载光电阴极(photocathode)的电子枪、包含该电子枪的电子显微镜、自由电子激光(freeelectronlaser；FEL)加速器、检查装置等电子射线应用装置(以下将自电子射线应用装置卸下电子枪的装置记为“合作伙伴装置(partnerdevice)”)(参照专利技术专利文献1)。具备电子枪的装置以获得明亮的影像及高分辨率者为佳。为此，首先将电子枪搭载于合作伙伴装置时或更换电子枪时，为了使由电子枪射出的电子束与合作伙伴装置的电子光学系统(electronopticalsystem)的光轴一致，一般会进行调整电子束的入射轴的作业。此外，除了电子束的入射轴的调整外，为了使电子束聚焦在合作伙伴装置的预定位置，一般亦进行调整焦点位置的作业。作为调整电子束的焦点位置的方法，除了调整电子枪的安装位置之外，已知在光电阴极与阳极(a本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子枪，包括：/n光电阴极；以及/n阳极；/n其中所述电子枪进一步包括：/n中间电极，其配置在所述光电阴极与所述阳极之间；/n其中所述中间电极具有：/n电子束通过孔，其使自所述光电阴极射出的电子束通过；/n其中，在所述电子束通过孔中形成有漂移空间，其在透过施加电压而在所述光电阴极与所述阳极之间形成电场时，能够忽略所述电场的影响，并且扩展通过的电子束的宽度。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181016 JP 2018-1948481.一种电子枪，包括：
光电阴极；以及
阳极；
其中所述电子枪进一步包括：
中间电极，其配置在所述光电阴极与所述阳极之间；
其中所述中间电极具有：
电子束通过孔，其使自所述光电阴极射出的电子束通过；
其中，在所述电子束通过孔中形成有漂移空间，其在透过施加电压而在所述光电阴极与所述阳极之间形成电场时，能够忽略所述电场的影响，并且扩展通过的电子束的宽度。


2.如权利要求1所述的电子枪，其中，
当所述中间电极如下规定时，具有D/(a/2+b/2)大于1的关系，这里：
所述电子束通过孔的中心轴方向的长度为D；
所述电子束通过孔的电子束的入口的截面长为a；
所述电子束通过孔的电子束的出口的截面长为b。


3.如权利要求1或2所述的电子枪，其包括驱动部，所述驱动部用于将所述中间电极在所述光电阴极与所述阳极之间向所述电子束通过孔的中心轴方向驱动。


4.如权利要求1至3中任一项所述的电子枪，其中所述中间电极的所述电子束通过孔的中心轴方向的长度D可变。


5.如权利要求1至4中任一项所述的电子枪，其包括电源，所述电源使所述光电阴极与所述阳极之间形成电场，且施加电压于所述中间电极。


6.如权利要求5所述的电子枪，其中当界定所述光电阴极的电压为第一电压，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：饭岛北斗，
申请(专利权)人：日商光电魂股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP