电子枪、电子枪用组件、电子射线应用装置以及对位方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供电子枪、电子枪用组件、电子射线应用装置以及对位方法，即使在将电子枪设置于对方侧装置时的设置位置的偏移变大，仍可使电子束的射出轴对轴于对方侧装置的电子光学系统的光轴。电子枪包括：光源；真空腔；根据来自光源的受光而射出电子束的光电阴极；电极套组；以及电极套组驱动装置；电极套组包括：光电阴极接受部；以及相对于光电阴极接受部离开地配置的阳极；光电阴极接受部配置有光电阴极；电极套组驱动装置在将一方向设为X方向、正交于X方向的方向设为Y方向、包含X和Y方向的平面设为X

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子枪、电子枪用组件、电子射线应用装置以及对位方法


[0001]本专利技术涉及电子枪、电子枪用组件、电子射线应用装置以及对位方法。

技术介绍

[0002]已知有一种搭载光电阴极(photocathode)的电子枪、包含该电子枪的电子显微镜、自由电子激光(free electron laser；FEL)加速器、检查装置等电子射线应用装置(以下有将自电子射线应用装置卸下电子枪的装置记载为“对方侧装置(partner device)的情形”。例如，在专利文献1中，已公开一种使用了从光源照射激发光以射出电子束的光电阴极的电子显微镜装置。
[0003]具备有电子枪的装置必须要获得鲜明的影像和高分辨率。因此，在最初设置电子枪时、和更换电子枪时，为使从电子枪射出的电子束的射出轴与装置的电子光学系统的光轴一致，需要有调整电子束的射出轴的作业。此外，在通常运转时，也要调整因为经时变化等所导致的电子束的射出轴和装置的电子光学系统的光轴的偏移，故视需要而进行电子束的射出轴的调整。
[0004]在专利文献2中，记载有将从搭载有光电阴极的电子枪射出的电子束的射出轴，进行对轴于对方侧装置的电子光学系统的光轴的内容。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2002
‑
313273号公报
[0008]专利文献2：国际公开第2019/221119号公报

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的课题
[0010]专利文献2所记载的对轴，前提为电子枪必须精密地设置在对方侧装置的至少电子束的射出轴的可进行调整的位置上。然而，要将电子枪精密地设置在对方侧装置上，需要有熟练的技术，并非任何人都能够易于进行。因此，需求一种即使在将电子枪设置于对方侧装置时的设置位置的偏移比过去更大，也仍能够将电子束的射出轴对轴于对方侧装置的电子光学系统的光轴的新颖对轴方法(装置)。
[0011]本申请公开内容提供了一种即使在将电子枪设置于对方侧装置时的设置位置的偏移变大，也仍能够将电子枪的射出轴对轴于对方侧装置的电子光学系统的光轴的电子枪、电子枪用组件、电子射线应用装置以及对位方法。本申请所公开的其他任意附加性的效果在实施方式中更为明确。
[0012]解决问题的手段
[0013](1)一种电子枪，
[0014]该电子枪包括：
[0015]光源；
[0016]真空腔(chamber)；
[0017]光电阴极，根据来自光源的受光而射出电子束；
[0018]电极套组(kit)；以及
[0019]电极套组驱动装置；
[0020]电极套组包括：
[0021]光电阴极接受部；以及
[0022]阳极(anode)，相对于光电阴极接受部离开地配置；
[0023]光电阴极接受部配置有光电阴极；
[0024]电极套组驱动装置在将一个方向设为X方向、正交于X方向的方向设为Y方向、包含X方向和Y方向的平面设为X
‑
Y平面时，
[0025]使电极套组在X
‑
Y平面上移动。
[0026](2)如上述(1)所记载的电子枪，在真空腔内配置有光电阴极、电极套组、以及电极套组驱动装置的一部分。
[0027](3)如上述(1)或(2)所记载的电子枪，其中，电极套组驱动装置包括平台(stage)，
[0028]阳极载置于平台上。
[0029](4)如上述(3)所记载的电子枪，其中，平台包括：
[0030]第一平台，朝X方向移动；以及
[0031]第二平台，朝Y方向移动。
[0032](5)如上述(1)至(4)中任一项所记载的电子枪，其中，电极套组包括配置于光电阴极接受部与阳极之间的中间电极。
[0033](6)如上述(1)至(5)中任一项所记载的电子枪，其包括使光电阴极朝正交于X方向和Y方向的Z方向移动的光电阴极驱动装置；
[0034]光电阴极驱动装置包括按压部件，该按压部件在光电阴极载置于光电阴极接受部时，将光电阴极按压在光电阴极接受部；
[0035]通过按压部件所按压的光电阴极根据电极套组的移动，追随光电阴极接受部而移动。
[0036](7)如上述(1)至(6)中任一项所记载的电子枪，其包括光电阴极固定座(holder)，
[0037]光电阴极固定座固持光电阴极，
[0038]且包括相对于光电阴极离开地配置，将来自光源的光予以聚光于光电阴极的透镜。
[0039](8)一种电子枪用组件，
[0040]电子枪用组件包括：
[0041]电极套组；以及
[0042]电极套组驱动装置；
[0043]电极套组包括：
[0044]光电阴极接受部；以及
[0045]阳极，相对于光电阴极接受部离开地配置；
[0046]电极套组驱动装置在将一个方向设为X方向、正交于X方向的方向设为Y方向、包含X方向和Y方向的平面设为X
‑
Y平面时，
[0047]使电极套组在X
‑
Y平面上移动。
[0048](9)如上述(8)所记载的电子枪用组件，其中，电极套组驱动装置包括平台；
[0049]阳极载置于平台上。
[0050](10)如上述(9)项所记载的电子枪用组件，其中，平台包括：
[0051]第一平台，朝X方向移动；以及
[0052]第二平台，朝Y方向移动。
[0053](11)如上述(8)至(10)中任一项所记载的电子枪用组件，其中，电极套组包括配置于光电阴极接受部与阳极之间的中间电极。
[0054](12)一种电子射线应用装置，包括上述(1)至(7)中任一项所记载的电子枪；
[0055]电子射线应用装置是：
[0056]自由电子激光加速器、
[0057]电子显微镜、
[0058]电子射线全像摄影(holography)装置、
[0059]电子射线图案化装置、
[0060]电子射线绕射装置、
[0061]电子射线检查装置、
[0062]电子射线金属层积造型装置、
[0063]电子射线微影术(lithography)装置、
[0064]电子射线加工装置、
[0065]电子射线固化装置、
[0066]电子射线灭菌装置、
[0067]电子射线杀菌装置、
[0068]电浆产生装置、
[0069]原子状元素产生装置、
[0070]旋转偏极(spin polarization)电子射线产生装置、
[0071]阴极发光(cathodoluminescence；CL)装置、或
[0072]逆光子放射摄谱术装置。
[0073](13)一种对位方法，使从电子枪所射出的电子束的射出轴对位于电子射线应用装置的电子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电子枪，所述电子枪包括：光源；真空腔；光电阴极，根据来自所述光源的受光而射出电子束；电极套组；以及电极套组驱动装置；所述电极套组包括：光电阴极接受部；以及阳极，相对于所述光电阴极接受部离开地配置；所述光电阴极接受部配置有所述光电阴极；所述电极套组驱动装置在将一个方向设为X方向、正交于所述X方向的方向设为Y方向、包含所述X方向和所述Y方向的平面设为X
‑
Y平面时，使所述电极套组在所述X
‑
Y平面上移动。2.如权利要求1所述的电子枪，在所述真空腔内配置有所述光电阴极、所述电极套组、以及所述电极套组驱动装置的一部分。3.如权利要求1或2所述的电子枪，其中，所述电极套组驱动装置包括平台，所述阳极载置于所述平台上。4.如权利要求3所述的电子枪，其中，所述平台包括：第一平台，朝X方向移动；以及第二平台，朝Y方向移动。5.如权利要求1至4中任一项所述的电子枪，其中，所述电极套组包括配置于所述光电阴极接受部与所述阳极之间的中间电极。6.如权利要求1至5中任一项所述的电子枪，其包括使所述光电阴极朝正交于X方向和Y方向的Z方向移动的光电阴极驱动装置；所述光电阴极驱动装置包括按压部件，该按压部件在所述光电阴极载置于所述光电阴极接受部时，将所述光电阴极按压在所述光电阴极接受部；通过所述按压部件所按压的所述光电阴极根据所述电极套组的移动，追随所述光电阴极接受部而移动。7.如权利要求1至6中任一项所述的电子枪，其包括光电阴极固定座，所述光电阴极固定座固持所述光电阴极，且包括相对于所述光电阴极离开地配置，将来自所述光源的光予以聚光于所述光电阴极的透镜。8.一种电子枪用组件，所述电子枪用组件包括：电极套组；以及电极套组驱动装置；所述电极套组包括：光电阴极接受部；以及
阳极，相对于所述光电阴极接受部离开地配置；所述电极套组驱动装置在将一个方向设为X方向、正交于所述X方向的方向设为Y方向、包含所述X方向和所述Y方向的平面设为X
‑
Y平面时，使所述电极套组在所述X
‑
Y平面上移动。9.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：西谷智博，
申请(专利权)人：日商光电魂股份有限公司，
类型：发明
国别省市：