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日本真空技术株式会社专利技术
日本真空技术株式会社共有8项专利
旋转真空泵制造技术
本发明涉及一种旋转真空泵,将排气部的存油部20的容积设定为较大,在存油部20的侧壁设置大的开口91作为排气通路,同时,使排气方向折曲,并双支承排气挡板81,按照这种结构,能降低旋转真空泵运转时的排气音。
两级旋转真空泵制造技术
本发明涉及一种2段式旋转真空泵,在串列连接的2段式旋转真空泵中,直接空冷第1段泵(高真空方)的气缸12,间接油冷第2段泵(低真空方)的气缸22。其能防止产生朝被排气容器的油蒸气的逆流,防止因气缸内形不成油膜而发生机械烧熔,而且防止冷凝性...
旋转真空泵制造技术
本发明涉及一种旋转真空泵,底座组件32由马达42、底座43及中间外壳44构成,泵机组33由泵壳体34及第1气缸36构成,在中间外壳44上形成吸气口45,在泵壳体34上形成排气口35,在第1气缸36上形成第1气缸吸气口37,通过使底座组件...
油密封旋转式真空泵的冷却装置制造方法及图纸
本发明涉及一种油密封旋转式真空泵的冷却装置,它可以不受环境气温的影响为泵提供宽的温度变化范围,它包括一个缸(1),一个偏心地装在缸中的转子(2)和一个装在转子上以便转动的叶片(3),该叶片不断沿转子的内壁滑动,使由缸(1)、转子(2)和...
冷冻循环用真空排气装置制造方法及图纸
在将真空排气装置本体1与冷冻循环3连在一起的管路2内,从真空排气装置本体1的一侧顺序连接了通气阀4、自动断路阀5、连通器6a、6b,在连通器6a、6b与自动断路阀5间的管路2a处连接了从净化气体源G导入净化气体的净化气供给管路8,在其上...
离子溅射泵制造技术
本发明提供一种外部烘焙时热能损耗小而且无需耐热性磁铁,使用通常所用磁铁在每次外部烘焙时也不必取下的离子溅射泵。其特征是在内装阴极1,2和阳极3的泵壳4与永磁铁的N极15,S极16之间有空气层18,18′,用以在外部烘焙时抑制永磁铁5,6...
溅射离子泵制造技术
在两个阴极之间已配置了构成多单元阳极的阳极的溅射离子泵中,把阳极的长度L和直径D之比特定于某一范围之内以提高排气速度。解决方法的特征是本发明的超高真空用的溅射离子泵,在设阳极的长度为L、阳极的直径为D时,把各阴极与阳极构成为使之满足0....
二次冷却式真空熔铸装置制造方法及图纸
本发明要提供一种能够与熔铸室的下个周期的熔炼、制造同时进行并对来自熔铸室的铸造产品进行二次冷却的真空熔铸装置。作为二次冷却装置70,在熔铸室11的下方通过闸门阀54设置有密封室51,将装有盖74的带凸缘73的短管72插入密封室51的连接...
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