冷冻循环用真空排气装置制造方法及图纸

在将真空排气装置本体１与冷冻循环３连在一起的管路２内，从真空排气装置本体１的一侧顺序连接了通气阀４、自动断路阀５、连通器６ａ、６ｂ，在连通器６ａ、６ｂ与自动断路阀５间的管路２ａ处连接了从净化气体源Ｇ导入净化气体的净化气供给管路８，在其上设置了净化气体流量控制阀１０与净化气体导入阀１１。管路２ａ上连接压力计７或流量计。它们的测出值供给控制器２０，按其测出值来控制净化气体流控制阀与（或）净化气体导入阀１１的开度及（或）其开、闭，以此可维持管路２ａ内的压力为规定值。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种冷冻循环用真空排气装置，其特征在于：在气体压缩行程中使用油的真空泵或排气气体连通其润滑油室的真空泵的真空排气装置本体与冷冻循环至少通过连接器由真空排气管路连起来；并通过备有净化气体导入机构和（或）净化气体流量控制机构的供气管路将净化气体供给源与该真空排气管路相连，而同时，在该真空排气管路上该置压力计或流速计，按该压力计或流速计的测出值，控制器发出使前述净化气体导入机构动作的驱动信号与（或）控制前述净化气体流量控制机构的控制信号，以此来控制前述真空排气管路内的压力或气体流速在规定值，依导入该真空排气管路内的净化气体来阻止从真空排气装置本体来的油蒸气往前述冷冻循环内倒流。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：深浦裕治，
申请(专利权)人：日本真空技术株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]