一种被测物的厚度测定方法及其装置，可进行高速、高精度、稳定的测定，且容易保养。用偏振器３２将自光源３１射出的相干光变换为希望的直线偏振光，使该直线偏振光入射具有双折射性的被测物３３，取出正常光线和异常光线，使取出的光线进一步入射楔形棱镜...