提供了一种热电换能器和一种热电换能器模块，所述热电换能器包括：衬底；衬底上的热电膜；衬底上的第一电极；以及衬底上的第二电极，第二电极在功函数上不同于第一电极。第一电极和第二电极与热电膜的相同侧部接触。热电膜的外边缘位于比衬底的外边缘更靠...

一种抛光设备，包括由多个电极元件组成的电极，电极驱动装置和分布在电极与工件之间的电介质研磨粒。抛光压力通过交流电压加到电极上时产生的库仑力施加到研磨粒上。