披露了一种用于蚀刻含硅膜的方法。该方法包括以下步骤：将含氮蚀刻化合物的蒸气引入基板上含有含硅膜的反应腔室中，其中该含氮蚀刻化合物是含有至少一个C≡N或C＝N官能团的有机氟化合物；将惰性气体引入该反应腔室中；并且活化等离子体以产生能够从该...

本发明涉及一种包括至少三个级的交换器‑反应器，其中至少一个级包括以下两者：至少部分地被促进蒸汽重整反应的催化剂覆盖的毫米级通道，以及至少部分地被促进水煤气反应的催化剂覆盖的毫米级通道。

一种装置，该装置包括：上段部分(10)，该上段部分具有在其中引入气体组分G的气体引入单元(1)、在其中引入液体组分L的液体引入单元(2)、以及在其中分别分配被引入的气体组分G和液体组分L的分配单元(3)；填充床(20)；以及具有混合物液...

用于由来自制备氨的装置的清洗流体形成的混合物制备富氩气料流的装置包括在甲烷分离塔(31)上游的至少两个甲烷洗涤塔(17、21)和在其下游的氮气/氩气分离塔(41)。

披露了使用卤化物交换反应合成含Si‑H碘代硅烷如二碘代硅烷或五碘代二硅烷的方法。

本发明涉及一种用于供应工作气体的设备，该设备配备有隔离室(3)并且配备有能够绕竖直轴线枢转的门(3’)以便使所述隔离室(3)能够被打开和关闭；该设备包括至少一个加压工作气体的源(5，7)，所述源安排在该隔离室(3)中；并且该设备包括用于...

本实用新型涉及热交换器。具有板的热交换器包括用于传导至少一种致冷流体的第一系列通路(10)和用于传导至少一种发热流体的第二系列通路(20)，各通路限定在两个相继的板(2)之间并且平行于纵向轴线(z)延伸，至少一个混合装置(3)布置在第一...

本发明涉及一种玻璃纤维材料制造方法和设施，其中经由纺丝、拉延、上浆和收集的步骤，接着是生产然后经受热退浆的所得玻璃纤维材料的步骤将熔融玻璃转变成玻璃纤维材料。来自熔化炉的烟被用于从该熔化炉以两个步骤预热燃烧反应物：第一步，其中经由与这些...

本发明涉及一种热交换器‑反应器或热交换器，包括至少三级，在每一级上具有促进热量交换的至少一个毫米级通道区域、以及位于该毫米级通道区域的上游和/或下游的至少一个分配区域。本发明的特征在于：所述热交换器‑反应器或热交换器是在不同级之间没有组...

本实用新型公开了一种用于减少旋转设备管嘴负荷的装置，为旋转设备的进出口管道提供了径向限位，并通过螺栓调节各向限位与管道之间的距离，通过摩擦副以极低的摩擦系数解决了旋转设备的进出口管道的轴向位移产生的摩擦力问题，大幅减小旋转设备管嘴承受的...

本发明涉及一种用于执行吸热方法的炉，所述炉包括包含用于转化气态给料的催化剂的管，其中各管成排定位于所述炉内，其中燃烧器安装在所述管之间和所述管与平行于管排的炉壁之间，并且其中燃烧器排和管排以端壁结束并且被分成区段，在每个管排中，从壁端管...

披露了用于使用经单取代的TSA前体形成含硅和氮的膜的ALD方法。这些经单取代的TSA前体具有式：(SiH3)2N‑SiH2‑X，其中X是卤素原子或氨基。

本发明涉及一种热交换器，该热交换器包括平行板和间隔件，这些间隔件被平行地安排并且限定：i)粗糙主通道(21)；以及ii)二次通道，这些二次通道被安排成交换热量。所述热交换器包括主液入口，该主液入口被流体地连接至主液分配器。每个粗糙主通道...

披露了用于使用经单取代的TSA前体形成含硅和氧的膜的ALD方法。这些经单取代的TSA前体具有式：(SiH3)2N‑SiH2‑X，其中X是卤素原子或氨基。

具有板的热交换器(1)包括用于传导至少一种致冷流体(F1)的第一系列通路(10)和用于传导至少一种发热流体(F2)的第二系列通路(20)，各通路限定在两个相继的板(2)之间并且平行于纵向轴线(z)延伸，至少一个混合装置(3)布置在第一系...

本实用新型涉及用于分离含有氢气和一氧化碳的混合物的设备。在用于低温分离氢气和一氧化碳的混合物的方法中，将该混合物在热交换器(E)中冷却并且然后在被送到汽提柱之前通过部分冷凝分离，在该热交换器中冷却富含氮的气体流(71)，在该热交换器的冷...

一种碳分子筛(CMS)膜通过以下方式制备：热解中空纤维膜至峰值热解温度TP，该中空纤维膜具有围绕聚合物芯的聚合物皮，存在于该聚合物芯中形成的孔中的抗子结构坍塌颗粒有助于防止热解前该中空纤维膜中形成的孔的坍塌。这些抗子结构坍塌颗粒由一种或...

本实用新型涉及一种用于执行吸热方法的炉，所述炉包括包含用于转化气态给料的催化剂的管，其中各管成排定位于所述炉内，其中燃烧器安装在所述管之间和所述管与平行于管排的炉壁之间，并且其中燃烧器排和管排以端壁结束并且被分隔成多个区段，其中从端部燃...

使用具有以下通式的前体合成在大于300℃的温度下进行水煤气变换反应的催化剂的方法：其中：M＝Al、La、Ga或In；A＝CO3；0.33＜x＜0.5；1＜n＜3。[(Cu，Zn)1‑x(Al，M)x(OH)2]

本发明涉及一种用于通过使用VPSA单元吸附大气空气流来生产氧气的方法，该VPSA单元包括四个吸附器、一个空气压缩机以及两个真空泵，每个吸附器经受具有阶段时间移动的单一压力循环，该方法包括以下步骤：a)生产具有氧气含量T1的第一气体流，同...