用于气体分配设备的可枢转触摸屏制造技术

本发明专利技术涉及一种用于供应工作气体的设备，该设备配备有隔离室(3)并且配备有能够绕竖直轴线枢转的门(3’)以便使所述隔离室(3)能够被打开和关闭；该设备包括至少一个加压工作气体的源(5，7)，所述源安排在该隔离室(3)中；并且该设备包括用于分配工作气体的装置(9)；该装置包括：一组管路(15，21，23)，所述管路连接至至少一个工作气体的源(5，7)并且连接至至少一条输出管路(10，10A)以便将工作气体输送到会消耗其的站点(10B)；功能部件(25，25A)，尤其是安排在所述管路(15，21，23)中并用于调节其中工作气体流量的阀门(27，29，27A，29A)、和气体泄漏检测器(34，34A)；以及监测和指令单元(35，35A)；该监测和指令单元包括：用于与所述功能部件(35，35A)通信的器件(37)，用于监测与所述功能部件(25，25A)相关的任务的器件(39)，以及用于控制所述监测器件(39)的、能够由该分配装置(9，9A)的操作员启动的器件(45)；所述控制器件(45)包括触摸屏(47)，该触摸屏具有与监测相应任务相关联的指令区(60，61，62，63，64，65，66，67，68)，其特征在于，所述触摸屏被附接到建造于该门(3’)中的壳体(47A)上，所述壳体(47A)能够并被设计成绕竖直轴线(Y)枢转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于气体分配设备的可枢转触摸屏本专利技术涉及一种用于分配工作气体的装置和一种供应此类气体的设备，该装置和设备用于将多种不同工业(例如半导体、光伏、LED和平面屏幕工业)或其他工业(如采矿或制药工业)的方法中所使用的气体从气瓶供应到用于这些方法的仪器或反应器。这些方法的实施通常需要使用高质量的危险气体，所以需要诸如自动吹扫和连续分配。例如，电子电路的制造需要使用被称为“工作”气体的多种不同气体，例如像Cl2、NH3、HCl、HBr、NF3或WF6等，这些气体由于其毒性和/或其易燃性通常被认为对人有害。因此，这些气体储存在加压气瓶中，这些气瓶成对地安排在气体供应设备中，也以名称“气柜”而为人所知。这种设备包括带受控抽气的安全外壳，并在外壳中安排有用于分配工作气体的装置。分配装置包括：一组用于给送、吹扫和抽气的管路，该组管路连接至两个加压气瓶；用于调节工作气体的流量的、安排在管路中的阀门；以及气体泄漏检测器和用于测量管路中占主导的压力的传感器，以监测设备的运行状态。由监测和控制单元执行阀门的调节以及对源自泄漏检测器和压力传感器的多种不同信号的捕获和利用。例如，这个监测和控制单元包括程序控制的自动机器，并且连接到该自动机器、显示器和控制面板。在此面板上绘出了设备的框图。为了向负责监控设备的操作员发出警报信号，在面板中安排了多个指示灯，每个指示灯与特定的警报相关联。此外，面板中还安装了用于控制阀门的开关，使设备能够在手动模式下运行。此外，通过安装在面板中并由自动机器控制的多种不同显示元件显示传感器捕获的测量值。由于指示灯、开关和显示元件数量众多，控制面板初看之下显得复杂而且并不太用户友好，因此使得需要长时间的学习来培训负责监控设备的操作员。本专利技术旨在首先通过提供一种配备有更加用户友好的显示和控制界面的分配装置来减轻这一缺点。其次，这些设备通常配备有门，使操作员能够触及外壳内部，并且因而能够操作外壳内安排的气瓶和/或多种不同元件。一旦打开门，操作员就不能触及门正面上所存在的元件，例如开关和显示元件以及显示器和控制面板。这对于操作员而言，是就其使用该设备而言的主要缺点。为此，本专利技术的一个主题是一种用于供应工作气体的设备，该设备配备有隔离外壳并且配备有能够绕竖直轴线枢转的门以便使该隔离外壳能够被打开和关闭；该设备包括至少一个加压工作气体的源，所述源安排在该隔离外壳中；并且该设备包括用于分配工作气体的装置；该装置包括：一组管路，所述管路连接至至少一个工作气体源并且连接至至少一条输出管路以用于将工作气体输送到消耗站点；功能部件，尤其是安排在所述管路中并用于调节所述管路中工作气体流量的阀门、和气体泄漏检测器；以及监测和控制单元；该监测和控制单元包括：用于与所述功能部件通信的器件，用于监测与所述功能部件相关的任务的器件，以及用于管理所述监测器件的、能够由该分配装置的操作员启动的器件；所述管理器件包括触摸屏，该触摸屏具有与监测相应任务相关联的控制区，其特征在于，所述触摸屏被附接到集成到该门中的壳体上，所述壳体能够并被设计成绕竖直轴线枢转。可枢转的壳体使在气瓶或其他部件上进行操作的操作员可以在门关闭时从机柜外部触及触摸屏并且可能触及停止按钮，而当门打开时，操作员可以从设备(例如呈机柜的形式)内部触及触摸屏和停止按钮。根据本专利技术的分配装置还可以包括以下一个或多个特征：该触摸屏对于至少一个主控制区包括至少一个副控制区，该至少一个副控制区与所述至少一个主控制区相关联并且与监测对应于所述至少一个主控制区的任务的指令相关，所述至少一个副控制区通过与所述指令相关联的图形绘出，并且仅在操作员激活所述对应的主控制区的情况下才显示在所述触摸屏上，-该触摸屏包括专门为所述主控制区保留的第一区域和与所述第一区域分离并且旨在用于所述副控制区的第二区域，-该触摸屏还包括第三区域，所述第三区域与所述第一区域和所述第二区域分离并且被保留用于显示与由操作员激活的主控制区相关的信息，-所述管理器件还包括用于发送在该触摸屏上操作员激活了控制区的信号的器件，-由所述监测器件监测的任务与管理相关、并且尤其与在该触摸屏上显示通过所述功能部件检测到的警报相关，并且该触摸屏的所述主控制区中的一个主控制区是用于激活对所产生警报的显示的区，-如果所述装置配备有测量传感器、尤其是用于测量所述管路中占主导的压力的测量传感器，则由所述监测器件监测的任务与评估由所述测量传感器捕获的测量值相关、并且与将所述值显示在该触摸屏上相关，并且所述主控制区中的一个主控制区是用于激活将所捕获的测量值显示在触摸屏上的区，-如果所述装置配备有测量传感器、尤其是用于测量所述管路中占主导的压力的测量传感器，则所述管理器件包括用于存储框图的器件，所述框图尤其示出所述用于分配工作气体的装置的所有管路和所述管路中安排的所述阀门，由所述监测器件监测的任务与评估由所述传感器捕获的测量值相关，并且与将该分配装置的框图和由所述传感器捕获的所述测量值一同显示在该触摸屏上相关，该框图记录在该存储器件中，并且所述主控制区中的一个主控制区是用于激活将该框图和所捕获的所述测量值显示在触摸屏上的区。替代地，屏幕上只显示包括压力传感器和气体分配二进制状态的概况。这种简化的屏幕具有小尺寸，且因此可以减小体积。本专利技术的另一个主题是用于分配工作气体的设备，其特征在于，该设备包括用于分配工作气体的第一和第二装置，如上文所述，这些装置并行安排并且其监测和控制单元彼此通信，其中该第二装置是相对于第一装置起作用的部件，其中该第一装置的监测器件的任务与监控被认为是功能部件的第二装置的操作状态相关，并且其中该第一装置的触摸屏的所述主控制区中的一个主控制区是用于激活在该第一装置的触摸屏上显示关于第二装置的操作状态的信息的区。该用于分配工作气体的设备还可以包括以下特征：-如果所述第二分配装置配备有测量传感器、尤其是用于测量其管路中占主导的压力的测量传感器，则所述第一分配装置的管理器件包括用于存储框图的器件，所述框图尤其示出所述用于分配工作气体的第二装置的所有管路和所述管路中安排的所述阀门，由所述第一分配装置的监测器件监测的任务与评估由所述第二分配装置的传感器捕获的测量值相关，并且与将所述第二分配装置的框图和由所述第二分配装置的传感器捕获的所述测量值一同显示在所述第一分配装置的触摸屏上相关，并且所述第一装置的触摸屏的所述主控制区中的一个主控制区是用于激活将所述第二分配装置的框图和由所述第二装置的测量传感器捕获的所述测量值显示在所述第一分配装置的触摸屏上的区。替代地，屏幕上只显示包括压力传感器和气体分配二进制状态的概况。这种简化的屏幕具有小尺寸，且因此可以减小体积。本专利技术的另一个主题是一种用于供应工作气体的设备，包括安排在隔离外壳中的至少一个加压工作气体的源，其特征在于，该设备包括如上文所述的分配装置，该分配装置连接到所述至少一个源并且安排在所述隔离外壳中，并且该分配装置的触摸屏被集成到所述外壳的外壁中。用于供应工作气体的设备还可以包括以下一个或多个特征：-如果所述源是气瓶，则由该分配装置的所述监测器件监测的任务与每次使用满瓶更换空瓶之前和之后的管路吹扫循环的控制相关，并且该触摸屏的所述主控制区中的一个主控制区是用于出于激活吹扫循环的目的来激活阀门本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于供应工作气体的设备，该设备配备有隔离外壳(3)并且配备有能够绕竖直轴线(X)枢转的门(3’)以便使该隔离外壳(3)能够被打开和关闭；该设备包括至少一个加压工作气体的源(5，7)，所述源安排在该隔离外壳(3)中；并且该设备包括用于分配工作气体的装置(9)；该装置包括：一组管路(15，21，23)，所述管路连接至至少一个工作气体源(5，7)并且连接至至少一条输出管路(10，10A)以用于将工作气体输送到消耗站点(10B)；功能部件(25，25A)，尤其是安排在所述管路(15，21，23)中并用于调节所述管路中工作气体流量的阀门(27，29，27A，29A)、和气体泄漏检测器(34，34A)；以及监测和控制单元(35，35A)；该监测和控制单元包括：用于与所述功能部件(25，25A)通信的器件(37)，用于监测与所述功能部件(25，25A)相关的任务的器件(39)，以及用于管理所述监测器件(39)的、能够由该分配装置(9，9A)的操作员启动的器件(45)；所述管理器件(45)包括触摸屏(47)，该触摸屏具有与监测相应任务相关联的控制区(60，61，62，63，64，65，66，67，68)，其特征在于，所述触摸屏被附接到集成到该门(3’)中的壳体(47A)上，所述壳体(47A)能够并被设计成绕竖直轴线(Y)枢转。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.31 FR 15573861.一种用于供应工作气体的设备，该设备配备有隔离外壳(3)并且配备有能够绕竖直轴线(X)枢转的门(3’)以便使该隔离外壳(3)能够被打开和关闭；该设备包括至少一个加压工作气体的源(5，7)，所述源安排在该隔离外壳(3)中；并且该设备包括用于分配工作气体的装置(9)；该装置包括：一组管路(15，21，23)，所述管路连接至至少一个工作气体源(5，7)并且连接至至少一条输出管路(10，10A)以用于将工作气体输送到消耗站点(10B)；功能部件(25，25A)，尤其是安排在所述管路(15，21，23)中并用于调节所述管路中工作气体流量的阀门(27，29，27A，29A)、和气体泄漏检测器(34，34A)；以及监测和控制单元(35，35A)；该监测和控制单元包括：用于与所述功能部件(25，25A)通信的器件(37)，用于监测与所述功能部件(25，25A)相关的任务的器件(39)，以及用于管理所述监测器件(39)的、能够由该分配装置(9，9A)的操作员启动的器件(45)；所述管理器件(45)包括触摸屏(47)，该触摸屏具有与监测相应任务相关联的控制区(60，61，62，63，64，65，66，67，68)，其特征在于，所述触摸屏被附接到集成到该门(3’)中的壳体(47A)上，所述壳体(47A)能够并被设计成绕竖直轴线(Y)枢转。2.根据前述权利要求所述的设备，其特征在于，该触摸屏(47)具有与监测相应任务相关联的主控制区(60，61，62，63，64，65，66，67，68)，所述主控制区(60至68)通过与所述任务相关联的图形(50至58)绘出。3.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，该触摸屏(47)对于至少一个主控制区(60；61；62；63；64；65；66；67；68)包括至少一个副控制区(91，92，93，94)，该至少一个副控制区与所述至少一个主控制区(60；61；62；63；64；65；66；67；68)相关联并且与监测对应于所述至少一个主控制区(60；61；62；63；64；65；66；67；68)的任务的指令相关，所述至少一个副控制区(91，92，93，94)通过与所述指令相关联的图形(81，82，83，84)绘出，并且仅在操作员激活所述对应的主控制区(60；61；62；63；64；65；66；67；68)的情况下才显示在所述触摸屏(47)上。4.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，该触摸屏(47)包括专门为所述主控制区(60至68)保留的第一区域(49)和与所述第一区域(49)分离并且旨在用于所述副控制区(91，9...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿济兹·欧尔顿，埃尔韦·迪尔菲，亨里克·多斯赖斯，
申请(专利权)人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司，液化空气电子系统公司，
类型：发明
国别省市：法国,FR