一种用于具有光敏层的印刷板或者其它基体的集成的内嵌式撞击和曝光系统，线性照明源通过照明带撞击光敏材料，以消耗在光敏层中的溶解氧；光栅扫描光学组件或者照明的和再成像的空间化光调制器阵列通过设置在撞击照明带下游处的光栅化光束或者光束或者调制...

一种基片处理系统和方法，其中，气动卡盘在基片和气动卡盘之间产生一气体膜；磁性卡盘把基片吸引到气动卡盘上；致动器子系统移动磁性卡盘靠近和远离气动卡盘，从而交替地拾起和释放基片。