本发明涉及一种分子束外延(MBE)薄膜生长装置，包括：生长室，与真空泵连接，并且内部保持超高真空状态；基板安装部，设置在所述生长室内部，并用于安装基板；负载锁定室，设置在所述生长室的外部，并与所述生长室连通，且安装在所述基板安装部上的用...