本发明提供了一种利用工业硅筛下粉造粒制备三氯氢硅的方法，包括：工业硅筛下粉造粒步骤和三氯氢硅制备步骤；所述三氯氢硅制备步骤是将工业硅筛下粉造粒后得到的硅颗粒放入流化床中与氯化氢气体进行反应得到三氯氢硅；所述工业硅筛下粉是小于120目的硅...