本发明提供了一种提高单晶硅纯度的直拉单晶硅炉装置以及单晶硅拉制方法，该单晶炉装置的特征在于，在炉腔(16)中硅熔体(14)的上方设置一个两端开口长筒形的罩体(5)，所述罩体(5)的上端设置于炉腔的上部，开口正对着副室，或设置于副室(1)...

本发明公开了一种硅片线切割方法及其装置，通过一根钢丝来回顺序缠绕２或４个开有线槽的导轮而形成钢丝线网，对硅单晶棒进行磨削加工。利用钢丝在切割过程中的磨损而直径变小的原理，对所缠绕在导轮上的钢丝线网，采用自钢丝缠绕导轮开始，按顺序逐渐加密...

本实用新型提供了一种提高单晶硅纯度的直拉硅单晶炉装置，该单晶炉装置的特征在于，在炉腔（１６）中硅熔体（１４）的上方设置一个两端开口长筒形的罩体（５），所述罩体（５）的上端设置于炉腔的上部，开口正对着副室，或设置于副室（１）内，罩体（５）...

本实用新型公开了一种硅片线切割装置，主要包括开有线槽的导轮，缠绕在导轮上的钢丝线网，主要特征是所述导轮上的开槽槽距为不相等的开槽槽距，该不相等的开槽槽距是自钢线缠绕导轮开始，沿导轮的长度方向上依次减小。该减小的开槽槽距与钢线在切割过程中...