本发明涉及半导体技术领域，是晶圆级铌酸锂量子波导刻蚀深度实时预测方法，具体方法包括：将刻蚀区域划分为多个刻蚀空间分区，并构建刻蚀空间分区标识集合；采集刻蚀物理量集合和等离子体发射特征强度，与对应的刻蚀空间分区标识进行绑定，形成刻蚀过程特...

本公开提供一种薄膜铌酸锂芯片光纤耦合机器视觉对准控制方法，包括采集薄膜铌酸锂芯片波导端面的高分辨率图像，从中提取多结构视觉表征集合；结合出光强度分布与由侧壁边界提供的几何约束，确定模场有效作用区域；基于模场有效作用区域内的光强分布，计算...

本发明涉及集成芯片优化技术领域，是基于智能多片协同的薄膜铌酸锂外延均匀性优化方法，具体方法包括：分析参考坐标集合与实测坐标集合之间的偏移量和相对强度，得到多腔体工位等效化偏移矩阵；将计算得到的气相输运衰减因子引入偏移强度权重系数分析，得...

一种面向高速调制器的薄膜铌酸锂条带电极精细对准方法，该方法包括：获取待测的目标波导的像素坐标，并根据设备标定参数确定各采样点的物理坐标，以生成波导连续偏移曲线。将目标波导划分为多个波导区间，并计算各波导区间的目标偏移坐标，以构建分段式参...

一种薄膜铌酸锂波导散射与吸收损耗谱分离检测方法，该方法包括：获取薄膜铌酸锂波导在不同波长下单位波长的传输损耗以及各波长导模在不同介质中的能量分布比例，以确定总传输损耗和模场空间能量占比。基于总传输损耗和模场空间能量占比，构建空间能量归因...

本发明涉及半导体技术领域，是基于多场耦合退火窗口优化的薄膜铌酸锂晶格调控方法，具体方法包括：提取薄膜铌酸锂的初始极化分布特征；输入双层势阱解析模组，得到界面势阱层和表层势阱层组成的界面‑表层双层势阱缓释模型；同时划定极化可控区范围；将极...

本发明涉及集成芯片制造技术领域，是基于深度图谱重建的铌酸锂波导缺陷快速甄别方法，具体方法包括：采集横向等效响应序列；构建横向耦合残差并平滑，得到耦合残差图；构建深度抑制系数矩阵，对横向等效响应序列进行耦合抑制，得到最终的去耦合深度矩阵；...

本发明涉及信号增强技术领域，是基于波导结构优化的单分子光信号增强方法，具体方法包括：在导光层表面进行多分区化凹槽刻蚀，并引入横向隔离带，采集波导结构参数集；动态调节凹槽深度与折射率差，获得能量集中度参数；在各个分区单元的能量峰值点构建单...

本发明涉及空间光通信技术领域，是面向空间光通信的铌酸锂波导阵列自适应相位整形方法，具体方法包括：提取空间相位矩阵集合并打包形成原始相位序列；计算相位变化速率矩阵序列，对原始相位序列进行重构处理，得到缓变相位序列；建立与波导通道之间的空间...

本发明涉及分子测序技术领域，是基于超材料增强的单分子实时测序方法，具体包括：将基底表面划分为若干个局部独立子阵列，得到子阵列基础周期层；并在其中的子阵列间隙区域引入等效隔离带，形成等效隔离子阵列；对子阵列单元精确刻蚀测序孔位，并在每个孔...

本发明涉及半导体技术领域，是基于片上异构集成的多频段光谱滤波方法，具体包括：对异构滤波单元进行分区处理，得到含有界面缓冲层的异构滤波单元初始结构；通过片上热分布仿真模型优化，进行关键滤波区域识别与温度阈值设定处理，得到含有局部微型热控模...

本发明公开了一种面向超表面制造的电子束曝光写场拼接动态优化方法，首先提取版图中的关键图形与低密度区域，生成密度分布图；然后结合设备参数，生成多种候选写场分割方案及其拼接缝，并为每条缝构建融合图形切割代价、工艺误差风险和移动效率的损失函数...

本发明提供一种基于可编程超表面的多频段光谱选择性滤波方法，包括在可编程超表面阵列的基底下方构建分层阻尼支撑结构；在分层阻尼支撑结构上制备自补偿型谐振单元阵列；构建阵列级相位同步控制网络，基于分布式传感信号对所述自补偿型谐振单元阵列进行局...

本发明提供一种基于多物理场耦合的光谱增强滤波超表面方法，包括：建立高功率激光入射下超表面的热‑力多物理场模型，通过计算获得其温度场，并基于此识别出热点区域；基于所述温度场计算热应力场，基于所述温度场和热应力场计算超表面材料的折射率变化量...

本发明公开一种基于机器学习优化的多频段超表面滤波方法，该方法首先构建多层硅基集成架构的多频段可重构超表面滤波硬件，从下至上依次设底层介质层、隔离层、中间介质层、顶层介质层及金属覆层；其次采集电磁仿真数据与实物实测数据，构建含结构、频率、...

本发明涉及信号解码技术领域，是基于人工智能算法的单分子信号解码方法，具体包括：对原始电流信号序列进行基线校正，得到校正后的电流信号动态基线序列；通过功率谱密度与频带划分进行电导波动分量分离，得到分子事件主体电流信号；划分为各个独立分子事...

本发明公开了一种偏振旋转电光调制器，包括电光偏振旋转结构、偏振选择结构以及波导结构，所述电光偏振旋转结构通过铌酸锂的畴反转实现；所述偏振选择结构通过质子交换波导或金属薄膜实现；所述波导结构包括质子交换波导和薄膜铌酸锂波导；所述质子交换波...

本发明提供一种基于检索增强生成的光学知识大模型构建方法及大模型系统，该方法在通用大模型的基础上设计了一种专用于光学领域的检索增强型大模型，首先利用公开文献构建了一个面向光学领域的光学知识向量数据库，而后利用查询代理将用户查询分解为逻辑上...

本技术涉及一种快速测量晶圆粗糙度的装置。本技术包括底座、托盘、光源和CCD图像传感器，所述托盘安装于底座上，所述光源安装于托盘上，所述CCD图像传感器位于托盘中心上方，所述光源由外壳、半导体激光器和柱透镜组成，所述半导体激光器与柱透镜相...

本发明公开了一种电控角度的光子芯片及光调制方法，利用电光晶体加电场后主轴旋转的方法，旋转光的偏振态，产生额外的倒格矢，补偿二阶非线性光学频率变换中的位相失配。本发明实现了激光发射角度的电压控制，不包含任何机械运动。实现方案采用大范围波长...