本发明提供一种用于半导体洁净室设备的温湿度控制器，包括手动调节模块和自动调节模块，所述自动调节模块包括加湿气路和加湿管，所述加湿气路头端连通主气路头端，所述加湿气路上依次设有至少一个比例阀和至少一个第二手动阀，所述第二手动阀后端加湿气路...

本发明专利公开了一种量测光路自动校准器，涉及半导体设备领域，包括金属底座、抗激光材料、晶圆片和保护罩，金属底座由矩形平板和支撑组成，矩形平板的顶端分别设置有用于放置抗激光材料的主孔和用于放置晶圆片的凹槽，支撑的横截面呈三角形，保护罩盖设...