本申请公开了一种MEMS振荡器，MEMS振荡器包括相互键合连接的器件芯片和控制芯片；器件芯片包括谐振体和热敏电阻；控制芯片包括：振荡电路，与谐振体电连接，用于驱动谐振体进行谐振运动，并根据谐振运动输出初始频率信号；温度补偿电路，与热敏电...

本申请公开一种MEMS振荡器，该MEMS振荡器具有MEMS谐振器，其特征在于，MEMS谐振器包括呈环形的振子、若干个电极、连接框以及锚固件，振子和若干个电极均位于连接框内，且振子经由连接梁与连接框连接，若干个电极包括设置在振子外侧的外电...

本申请公开了一种MEMS器件的封装方法及MEMS器件，封装方法包括：提供一硅框架，将硅框架键合于控制芯片的顶面，其中，控制芯片的顶面设有第一导电部；在硅框架的顶面形成第一通孔和凹槽，并将器件芯片设置于凹槽中，其中，第一通孔正对第一导电部...

本申请涉及谐振器技术领域，公开了一种MEMS谐振器，包括：锚点；谐振体组，所述谐振体组呈矩形体结构设计，所述谐振体组的长度是其宽度的整数倍，所述谐振体组包括第一谐振体以及第二谐振体，所述第一谐振体和所述第二谐振体对称排布在所述锚点的两侧...

本申请公开一种频率输出装置，频率输出装置包括谐振件和振动电路；谐振件包括主体部、设置在主体部相对两侧的电极层；电极层包括压电驱动电极和压电感测电极，主体部采用压电材料形成，主体部具有至少两种振动模态，压电驱动电极用于接收驱动信号以驱使主...

本申请提供了一种温控谐振器，其包括：电极；振动体，其与所述电极间隔设置；锚固件，其与所述振动体相连；加热单元，其围绕所述电极、所述振动体、所述锚固件设置；其中，所述电极、所述振动体、所述锚固件中的至少一者与所述加热单元之间设置有屏蔽单元...