马丁科瑞半导体浙江有限公司专利技术

马丁科瑞半导体浙江有限公司共有9项专利

  • 本发明提供一种装片机的新型晶圆台机构,晶圆内圈可自动升降,可自动更换蓝膜片的新型晶圆台机构。主要设计有高精度运行Y轴结构,高精度运行X轴结构,晶圆载盘结构、内圈升降结构、压环组合以及自动送晶圆环结构。本发明增大晶圆载盘尺寸,解决12吋晶...
  • 本发明提供一种软焊料全自动装片机,包括立柱组合、进料组合、叠料组合、输送器组合、热隧道组合、双点锡组合、晶圆台组合、推顶器组合、相机位移组合、绑头组合、出料组合;其中,所述热隧道组合用于软焊料熔融及贴片,包括预热区、工作区、冷却区,温度...
  • 本技术提供一种用于装片机的流道支架移形双开电磁夹爪机构,流道支架移形双开电磁夹爪机构包括支架、夹爪座、电磁铁以及滑动组件;支架上设置有直线电机动子以及读数头,读数头设置于支架的下表面;夹爪座包括上夹爪、下夹爪以及连接件,上夹爪与下夹爪通...
  • 本发明提供一种半导体高精度装片机,包括双层料盒进料升降梯组件、双点胶组件、视觉定位组件、动平衡组件、绑头组件、双层料盒收料升降梯组件、输送流道组件、晶圆台组件、推顶器组件、wafer升降梯组件以及基座组件;所述输送流道组件固定安装在所述...
  • 本发明提供一种任意角度旋转带力控贴片头的装置,一所述装置包括主座、安装在主座上的电机座、设置在主座前端的旋转座以及贯穿旋转座中部的旋转杆;所述主座上还设有卡座;所述卡座于所述旋转杆固定连接;所述电机座上固定设有伺服电机;所述主座于所述旋...
  • 本发明提供一种装片机长流道同步送料平台,包括:同步平台安装底板、同步平台轴、同步平台轴固定座和若干个拨爪安装座;其中,所述同步平台轴固定座设有升降安装座和水平方向的直线轴承,所述同步平台轴穿设于所述直线轴承中。本发明通过在所述同步平台轴...
  • 本发明提供一种装片机的新型点胶缓冲机构,所述机构包括镜筒安装座、Z轴安装座、导轨滑动座、胶筒、导轨固定座、点胶头固定座以及精密点胶头;所述镜筒安装座安装在所述Z轴安装座的上方;所述导轨固定座设置在所述Z轴安装座的一侧上;所述导轨滑动座可...
  • 本发明提供一种装片机的新型流道下料缓冲机构,下料缓冲机构包括推料底座
  • 本发明提供一种装片机的新型料盒防撞保护机构,所述保护机构包括固定板
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