催化剂及其制备方法，包括：将可溶性镍盐与能够提供二氧化硅的硅源以及能够沉淀镍离子的沉淀剂在溶剂中接触；将接触所得产物过滤，并将所得固体依次进行干燥、焙烧、程序升温还原和钝化。本发明的催化剂在四氯化硅氢化制备三氯氢硅中的应用。本发明的制备...

一种四氯化硅氢化制备三氯氢硅的方法，包括：在催化剂存在下，将四氯化硅、氢气气流和硅粉接触，得到三氯氢硅；所述催化剂按如下方法制备：将可溶性镍盐、金属M的可溶性盐化合物、能够提供二氧化硅的硅源与能够沉淀镍和/或金属M离子的沉淀剂在溶剂中接...

四氯化硅氢化制备三氯氢硅的方法，包括：在催化剂存在下，将四氯化硅、氢气气流和硅粉接触，得到三氯氢硅；所述催化剂按如下方法制备得到：将可溶性镍盐与能够提供二氧化硅的硅源以及能够沉淀镍离子的沉淀剂在溶剂中接触；将接触所得产物过滤，并将所得固...

一种催化剂及其制备方法，包括：将可溶性镍盐、金属M的可溶性盐化合物、能够提供二氧化硅的硅源与能够沉淀镍和/或金属M离子的沉淀剂在溶剂中接触，将接触所得产物过滤，并将所得固体依次进行干燥和焙烧，其中，所述M选自IB、IIB、IIA和除Ni...

本发明公开了一种处理多晶硅生产废气的方法，所述多晶硅生产废气含有氯硅烷、氢气和氮气，该方法包括以下步骤：(1)对所述多晶硅生产废气进行增压和预冷凝；(2)将步骤(1)中预冷凝后的所述多晶硅生产废气与吸附剂接触，所述接触的条件使得所述吸附...

本发明提供了一种将含杂质的氯硅烷净化回收的方法，该方法包括：(1)将含杂质的氯硅烷液体过滤，得到过滤后的氯硅烷液体和固体物；(2)将步骤(1)中过滤后的氯硅烷液体在使氯硅烷为气态的条件下蒸发，得到氯硅烷气体和蒸发残余物；(3)将步骤(2...

本实用新型提供了一种生产三氯氢硅的反应器，其特征在于，该反应器包括筒状主体和沿该筒状主体的轴向间隔设置在该筒状主体内的第一隔板和第二隔板，所述筒状主体上开设有第一开口、第二开口、第三开口和第四开口，第二开口和第三开口位于第一开口和第四开...

本发明提供了一种生产三氯氢硅的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：（１）在催化剂存在下，将四氯化硅和氢气在第一反应区接触，得到主要含有三氯氢硅、四氯化硅和氯化氢的第一气体混合物；（２）将第一气体混合物与硅粉在第二反应区接触，得到主要含...

一种四氯化硅转化生产三氯氢硅的方法，其特征在于，该方法包括在催化剂存在下，将四氯化硅、氢气气流和硅粉接触，得到三氯氢硅；所述氢气气流为由三氯氢硅与氢气反应制备多晶硅时回收的氢气组分，其中，所述回收的氢气组分中氢气的含量大于８５体积％；所...