本实用新型涉及一种擦拭清洗光罩的设备，特别是指一种可迅速、且有效去除光罩表面微粒子与雾化污渍的设备，该设备至少包含有一输送装置、一侧边擦拭装置及一顶面擦拭装置，以利用输送装置载送光罩依序经由侧边擦拭装置与顶面擦拭装置，而利用含浸有清洗液...

本实用新型是关于一种为使光罩保持洁净的系统，特别是指一种可长时间、且效果佳的光罩洁净度保持系统，其包含有至少一装置、至少一可选择性启闭的移转容器，其中移转容器可用于承载光罩，而装置可用于承载前述移转容器，且前述装置具有至少一充气单元与至...

本实用新型涉及一种光掩模充气柜结构，尤指一种使得光掩模移转容器内部保持较佳洁净度的充气柜结构，其包含有一中空的柜体，且柜体内设有至少一供光掩模的移转容器定位放置的循环单元，该循环单元具有至少一充气元件与至少一排气元件，其中充气元件可选择...

本发明涉及一种光掩模充气柜结构，尤指一种使得光掩模移转容器内部保持较佳洁净度的充气柜结构，其包含有一中空的柜体，且柜体内设有至少一供光掩模的移转容器定位放置的循环单元，该循环单元具有至少一充气元件与至少一排气元件，其中充气元件可选择性对...

本发明是关于一种为使光罩保持洁净的系统，特别系指一种可长时间、且效果佳的光罩洁净度保持系统，其包含有至少一装置、至少一可选择性启闭的移转容器，其中移转容器可用于承载光罩，而装置可用于承载前述移转容器，且前述装置具有至少一充气单元与至少一...

本发明是关于一种以擦拭清洗光罩的方法及设备，特别是指一种可有效去陈光罩表面微粒子与雾化污渍的清洁方法与设备，该设备至少包含有一输送装置、一侧边擦拭装置及一顶面擦拭装置，以利用输送装置载送光罩依序经由侧边擦拭装置与顶面擦拭装置，而利用含浸...