本发明公开了一种基于PLC设备通信数据的采集系统，属于工业物联网与自动化控制技术领域。系统通过多协议兼容的智能网关实现工业现场PLC设备数据的实时采集，结合边缘计算与云端协同处理技术，构建设备数据的动态关联模型，解决传统工业数据采集系统...

一种半导体设备的工艺控制方法中，该方法的上位机通过对工艺配方文件中控制半导体设备完成预设工艺流程需要的工艺变量进行预编译操作，获得对应的通用工艺指令队列；下位机部署有通用工艺指令集，使得下位机可以作为解释执行器，下位机通过对每个通用工艺...

本发明提供了一种半导体设备的软件互锁控制方法，包括：收集第一非数字IO信号；创建软件互锁文件；建立软件互锁解析源程序；获取第一操作指令信息，并在第一操作指令信号输出到半导体设备之前，根据经软件互锁解析源程序解析之后的软件互锁文件，对第一...

本发明提供了一种基于图像处理的晶圆片定位方法，包括：获取第一参考图像；第一参考图像表征了晶圆准确放置，采集到的晶圆的图像；根据第一参考图像、第一环宽值以及第一图像算法，得到第一矩阵位图；获取第一目标图像；第一目标图像表征了采集到的待测晶...