本技术涉及一种药液循环系统，包括内外设置的内槽以及外槽，内槽与外槽之间依次具有第一管路、循环泵、第二管路、过滤器以及第三管路，内槽连接有内槽排放管路，第一管路与内槽排放管路之间具有外槽排放管路，过滤器与内槽排放管路之间具有过滤杂质排放管...

本技术涉及一种超声水浴槽抛动清洗装置，包括外槽体以及置于外槽体内部的内槽体，内槽体内具有放置工件的清洗吊篮，外槽体的外侧具有驱动清洗吊篮整体上下往复移动的驱动组件；驱动组件包括设置在外槽体一侧的固定架以及置于固定架上的驱动电机，固定架上...

本技术涉及一种堆叠式硅片腐蚀工装，包括前后设置的两个侧板以及置于两个侧板之间的多组旋转定位组件，每个旋转定位组件上沿着垂直于多组旋转定位组件分布的方向依次卡设有多个硅片；旋转定位组件包括贯穿两个侧板的两个固定杆以及置于两个固定杆中心正下...

本发明涉及一种供液系统管路的稳压结构，包括依次设置在管路上的气液分离器、前压力变送器、反冲洗过滤器、隔膜泵以及后压力变送器；管路由第一管路以及多个第二分管路组成，前压力变送器、反冲洗过滤器、隔膜泵以及后压力变送器在第二分管路上由起始端向...

本发明涉及CDS供液柜技术领域，且公开了一种CDS供液柜，包括柜体结构、供液系统组件、安全与监测系统组件以及人机交互界面控制系统，所述柜体结构包括有多个分隔舱，各舱间设有密封隔板，所述柜体结构采用全封闭结构，且由PP聚丙烯、PVDF聚偏...

本发明涉及一种自动配液装置，包括机架以及置于机架上的旋转驱动结构、配液控制结构，机架上具有药液出料筒；旋转驱动结构包括置于机架上的旋转盘，旋转盘上具有多个等间距圆周分布的药液储料组，旋转盘上还具有多个与药液储料组依次连通的药液出料口，药...

本发明涉及一种晶圆异丙醇雾化干燥设备，包括干燥箱体以及置于干燥箱体内的晶圆摆动盘机构，晶圆摆动盘机构的上端面具有多个等间距圆周分布的晶圆翻转式真空吸盘组件，干燥箱体的上侧具有圆周转动的水气通入组件；水气通入组件包括设置在干燥箱体上侧的转...

本发明公开了一种用于种植牙的酸蚀表面处理设备，属于表面处理技术领域，包括：机体，所述机体的顶部设置有处理腔，所述处理腔内设置有酸蚀装置，所述处理腔由两个圆形腔组成，两个所述圆形腔之间相互连通，所述酸蚀装置与处理腔转动连接，所述处理腔内设...

本发明涉及湿法清洗技术领域，具体为一种半导体集成电路工艺用湿法清洗设备，所述湿法清洗设备包括机身、补液机构、回收机构和净化机构，所述补液机构和回收机构分别设置在机身的左右两侧，本发明相比于目前的湿法清洗设备设置有循环机构和固定机构，通过...