【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于自动配液领域，具体涉及一种自动配液装置。
技术介绍
1、半导体制造过程中常用的液态化学品，包括去离子水、异丙醇、三氯乙烯、丙酮和二甲苯，用于硅片漂洗、稀释清洗剂和去除光刻胶等，长期直接直接接触这些药液，会人体健康具有一定危害，因此，配置药液时，需要提供一种自动药液装置，来替代人工药液配置。
2、现有的自动配液装置一般通过虹吸式配液实现自动、精准以及高效稳定配液，在u型状虹吸管路的底部设置止水阀，当停止配液时，只需关闭虹吸管底部的止水阀，就能保证虹吸管内充满液体，再次打开止水阀即可恢复正常配液状态，但是虹吸管倒u型的内部顶端由于负压大，内部容易产生汽化水或从水中分离出空气，这些气体达到一定量后，虹吸管倒u型顶端的过水截面积太小，严重会影响虹吸管的连通性能，从而影响自动配液效率；其次，虹吸管的密封件易发生磨损，从而丧失虹吸能力，虹吸管在使用时，发生窜动，影响配液精度及效率，维修时，需要停机更换虹吸管，检修时间长，进一步影响自动配液效率。
技术实现思路
1、本专利技术的...
【技术保护点】
1.一种自动配液装置，其特征在于：包括机架以及置于机架上的旋转驱动结构、配液控制结构，所述机架上具有药液出料筒；
2.根据权利要求1所述一种自动配液装置，其特征在于：所述药液储料组包括设置在旋转盘上端面的药液储料筒体以及置于药液储料筒体旁侧的取样筒体；
3.根据权利要求2所述一种自动配液装置，其特征在于：所述虹吸管与对应的药液储料筒体以及取样筒体之间通过密封加固件实现密封可拆卸式连接。
4.根据权利要求3所述一种自动配液装置，其特征在于：所述密封加固件包括设置在药液储料筒体以及取样筒体上端面上的旋转紧固体，所述药液储料筒体以及取样筒...
【技术特征摘要】
1.一种自动配液装置，其特征在于：包括机架以及置于机架上的旋转驱动结构、配液控制结构，所述机架上具有药液出料筒；
2.根据权利要求1所述一种自动配液装置，其特征在于：所述药液储料组包括设置在旋转盘上端面的药液储料筒体以及置于药液储料筒体旁侧的取样筒体；
3.根据权利要求2所述一种自动配液装置，其特征在于：所述虹吸管与对应的药液储料筒体以及取样筒体之间通过密封加固件实现密封可拆卸式连接。
4.根据权利要求3所述一种自动配液装置，其特征在于：所述密封加固件包括设置在药液储料筒体以及取样筒体上端面上的旋转紧固体，所述药液储料筒体以及取样筒体的上端面均具有竖向设置的固定连接管，所述固定连接管内贯穿有固定伸入管，所述固定伸入管的上下两端均凸出于固定连接管的端部，所述虹吸管的端部套设有套管，所述旋转紧固体包括旋转台部以及置于旋转台部上的紧固筒体部，所述紧固筒体部与对应的药液储料筒体或取样筒体之间为嵌合式旋转连接，并通过螺栓实现固定，所述套管由上至下伸入紧固筒体部内并与紧固筒体部通过螺纹连接，所述固定连接管的上端具有同心设置的夹紧管，所述夹紧管的内径大于固定连接管的内径，当旋转紧固体与套管螺纹旋转时，套管以及虹吸管同步位移，夹紧管嵌设在套管以及虹吸管之间，此时固定伸入管的上端伸入至虹吸管内并在套管的与夹紧管的配合夹紧力下实现密封配合。
【专利技术属性】
技术研发人员：杨军，高艳，关周，
申请(专利权)人：科芯微江苏微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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