本发明涉及一种在基层与金属化层之间形成并封装微机械元件的方法。该方法包括：在基层的至少一部分上涂敷第一牺牲层；在第一牺牲层的至少一部分上形成微机械元件的至少一部分；在微机械元件上涂敷第二牺牲层；在第二牺牲层的至少一部分上涂敷封装层；蚀刻...

本发明公开了一种用于将代码编写到多个二进制数据存储元件的阵列上以及从其读取代码的装置。该装置包括：移位寄存器，用于顺序接收将被写到多个数据存储元件上的二进制数据序列。该装置进一步包括控制逻辑电路，用于通过顺序读取存储在移位寄存器中的数据...

一种信息管理和跟踪系统，用于管理和跟踪与工艺开发相关的制品数据，制品数据包括与开发实验参数、结果和产品相关的数据。本系统包括数据管理部件和用于保留与工艺设计相关的数据的工艺设计环境。开发跟踪环境保留包括制品的与工艺开发相关的数据。后备注...

本发明涉及一种封装在基层和一个或多个金属化层之间形成的微机械元件的方法。该方法包括在微机械元件上形成一个或多个封装层，并且为围绕在基层和一个或多个封装层之间延伸的元件提供封装壁。在基层和在微机械元件上形成的一个或多个金属化层之间形成电连接。