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晋芯先进技术研究院山西有限公司专利技术
晋芯先进技术研究院山西有限公司共有4项专利
一种抗电磁辐射的半导体器件及抗电磁辐射的方法技术
本发明提供了一种抗电磁辐射的半导体器件及抗电磁辐射的方法,半导体器件包括:半导体衬底、半导体层、绝缘介质层、锗锑碲薄膜层、第一电极和第二电极。方法包括:电磁辐射波到达锗锑碲薄膜层的超表面结构;通过由凹槽、圆柱体和电磁辐射反射基体组成超表...
一种半导体场效应集成电路的制备系统及方法技术方案
本发明公开了一种半导体场效应集成电路的制备系统及方法,包括:P型半导体衬底、第一区域、第二区域、绝缘板;所述半导体衬底上左侧设有第一区域,所述第一区域内部形成第一注入区;所述半导体衬底上右侧设有第二区域,所述第二区域内部形成第二注入区,...
一种集成电路欧姆接触区的生产系统及生产方法技术方案
本发明公开了一种集成电路欧姆接触区的生产系统及生产方法,其中生产系统包括:包括:依次设置的半导体薄膜、钝化层、半导体掺杂层、欧姆接触区和金属电极;所述欧姆接触区为重掺杂区,降低欧姆接触区的势垒高度,增大电子隧穿的几率;所述金属电极采用多...
一种半导体器件薄膜结构及制备方法技术
本发明提供了一种半导体器件薄膜结构及制备方法,包括:砷化镓衬底层:在半导体器件薄膜结构的最底层,通过飞秒激光纵向微加工形成纵向凹槽区,并通过横向切割形成横向分割区,获得砷化镓衬底层;氮化镓生长层:在砷化镓衬底层表面,通过异质分子束外延法...
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