本发明公开了一种基于明暗场的晶圆缺陷检测方法，方法的步骤中含有：将一目标晶圆置于检测光路中，通过检测光路利用明场光源对目标晶圆采集目标明场图像，通过检测光路利用暗场光源对目标晶圆采集目标暗场图像；通过检测光路利用明场光源对标准晶圆采集标...

本实用新型公开了一种掩膜及晶圆检测夹具，它包括底座、呈方形的定位台、固定在所述底座上的固定支撑件、滑配在所述底座上的滑动支撑件、设于底座和滑动支撑件之间并适于驱动滑动支撑件朝向固定支撑件移动以使固定支撑件和滑动支撑件共同夹紧呈方形的掩膜...

本实用新型公开了一种掩模取放定位结构，它包括固定支撑座、活动支撑座、取料部件、夹紧机构和定位机构；所述固定支撑座适于托住物料的前端部；所述活动支撑座适于托住所述物料的后端部；所述定位机构适于限定所述物料在左右方向上的位置；所述夹紧机构与...

本实用新型公开了一种掩膜版支撑装置，它包括支撑座和多个安装在所述支撑座上的圆锥支撑件，所述圆锥支撑件的锥面适于与掩膜版接触以支撑所述掩膜版。本实用新型与掩膜版表面形成点接触，接触少，进而有效规避掩膜版检测工序过程划伤掩膜版。工序过程划伤...

本发明公开了一种一种半导体晶圆DIE尺寸的测量方法，方法的步骤中含有：S1：对晶圆构建坐标系，获取晶圆的圆心坐标，获取基测DIE的尺寸及邻近DIE和基测DIE之间的间隔尺寸；其中，基测DIE为晶圆圆心附近的某个实际DIE；邻近DIE为基...

本发明公开了一种掩模夹具，它包括固定架、载体装置和位置切换装置；其中，所述载体装置中具有适于放置板件的放置工位，所述载体装置适于装夹固定住所述放置工位中的板件；所述载体装置活动连接在所述固定架上并在活动过程中具有检测位置和上下料位置，在...

本发明公开了一种半导体晶圆DIE分布的获取方法，方法的步骤中含有：S01：选取晶圆上某个DIE作为基测DIE和将基测DIE相邻斜角上的DIE作为邻近DIE，对晶圆构建坐标系，获取基测DIE的尺寸及邻近DIE和基测DIE之间的间隔尺寸以及...

本实用新型公开了一种掩膜版缺陷检查装置，用于检测具有铬膜和透明基底的表面缺陷，它包括透射光源组件、反射光源组件、物镜、成像透镜、分光件、相机一和相机二，透射光源组件适于向掩膜版照射透射光；反射光源组件适于向掩膜版照射反射光；物镜适于将透...

本发明公开了一种基于频闪切换照明的掩膜版缺陷检测方法及系统，用于检测具有铬层和透明基底的掩膜版的缺陷，方法步骤中包含：在掩膜版匀速移动的过程中，透射光和反射光交替照射于掩膜版；透射光照射于掩膜版时，透射光先透过透明基底，后被成像于图像采...

本实用新型公开了一种适用线阵相机暗场检测的激光线光源，它包括激光光源、分光镜、第一全反镜、与待整形光束一一对应的整形镜组、与线激光一一对应的第二全反镜，所述激光光源适于提供入射激光；所述分光镜适于将入射激光分为第一激光束和第二激光束；所...

本发明公开了一种掩模表面颗粒缺陷检测方法，方法的步骤中包括：获取透射光照射掩模得到的透射灰度图像T和反射光照射掩模得到的反射灰度图像R，对反射灰度图像进行反色运算得到反射灰度反色图像；获取透射灰度图像和反射灰度反色图像中各像素的法向量的...

本实用新型公开了一种掩膜版检测夹具，它包括底座、限位座组和滑动驱动机构，所述限位座包括固定在底座上的固定限位座和滑配在底座上、并位于所述固定限位座对面的滑动限位座；所述滑动驱动机构与所述滑动限位座相连以驱动滑动限位座朝向固定限位座移动以...

本实用新型公开了一种明暗场切换光学模组，它包括物镜、成像光路、光源光路、光源反射部件和驱动机构，光源光路适于将明场光源的至少一光束或暗场光源的至少一光束导至一光源反射位上；光源反射部件包括明场光源反射组和暗场光源反射组；所述驱动机构与所...

本实用新型公开了一种平板玻璃检测机，它包括支架装配平台、用于传送平板玻璃以使得平板玻璃依次传送至第一检测工位和第二检测工位或使得平板玻璃由第一检测工位传送至第二检测工位的传动输送装置、用于检测位于第一检测工位的平板玻璃的边缘缺陷及边缘透...

本实用新型公开了一种基于楔形推动的升降装置，它包括基座、下楔形块、上楔形块和水平移动驱动机构，所述下楔形块水平滑配于基座；所述上楔形块竖向滑配于基座，并与所述下楔形块共同形成斜面配合；所述水平移动驱动机构与所述下楔形块相连以驱动下楔形块...

本发明公开了一种平板玻璃检测机，它包括支架装配平台、用于传送平板玻璃以使得平板玻璃依次传送至第一检测工位和第二检测工位或使得平板玻璃由第一检测工位传送至第二检测工位的传动输送装置、用于检测位于第一检测工位的平板玻璃的边缘缺陷及边缘透光率...

本实用新型公开了一种光路自动切换装置，它包括一种光路自动切换装置，它包括旋转盘、光路系统、光路、与旋转盘相连且用于驱动旋转盘转动相应角度的旋转驱动装置，沿所述旋转盘的周向安装有至少两种类型的光学部件；所述光路系统位于旋转盘的一端；所述光...

本发明提供了一种基于图像法向量的掩模图形边缘缺陷检测方法，包括：计算待测图像和标准图像中非拐角处像素的灰度值和和法向量角度；对待测图像和标准图像同一位置像素的法向量角度进行作差；若法向量角度差值大于预设阈值，则待测图像的该像素存在缺陷。

本发明公开了一种消除设计版图公差的缺陷检测方法及装置，方法中包含：采集待测物体的图像，对设计版图的与图像相对应的区域的矢量图进行多边形合并，得到多边形矢量图，根据待测物体与设计版图的公差值对多边形矢量图进行整体缩放，并填充多边形矢量图和...

本发明公开了一种基于图像灰度值的掩膜版光学缺陷检测方法，方法的步骤中含有：在相机界面上采集实际图的亮区数据和暗区数据；利用相机平场校正功能，对实际图进行相机视场的亮度校正，保证一个视场内的亮区和暗区的灰度值分别保值，并保持尽可能一致；在...