本申请公开了一种电子专用ALD材料合成的成套设备，包括：第一反应器、第二反应器、第一滴加控制装置、第一定量加料装置、第二定量加料装置和第二滴加控制装置；第一滴加控制装置用于将第一液相反应物滴加进第一反应器中，第一定量加料装置用于将第二液...

本发明涉及一种升华提纯装置，所述升华提纯装置包括：升华机构，其用以加热升华物料且其设有出气口；冷凝机构，其包括冷凝管和套接于所述冷凝管的冷却套，所述冷凝管垂直设置并与所述出气口连通；刮料组件，其包括相连的轴体和刮板，所述刮板位于所述冷凝...

本申请公开了一种氧化铝的制备工艺，包括如下步骤：S10、合成异丙醇铝：将铝粉和异丙醇加入至反应仪中进行反应混合，再加入二氯乙基铝充分反应，经减压蒸馏得到异丙醇铝；S20、异丙醇铝水解：将异丙醇铝放在恒温水浴锅中连续加异丙醇铝溶液得到氧化...

本发明提供了一种吸附柱、吸附装置及纯化产品的处理方法，该吸附柱主要是由具有空腔的罐体、若干个将空腔分隔成多个独立的腔体的隔板件、与各腔体相连通的第一管路、与各腔体相连通的第二管路、设置于各第一管路上的第一阀门组件、设置于各第二管路上的第...