【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体电子化学品领域，具体涉及一种吸附柱、吸附装置及纯化产品的处理方法。
技术介绍
1、在现有技术中，用于半导体的纯化产品的吸附装置内部存在动设备，结构复杂，易使得连续添加物料的过程中，造成对物料进行纯化处理的新旧树脂等净化材料，也就是不同程度的净化材料之间产生混淆，因而无法满足半导体用高纯化学品纯化要求。
2、并且，诸如专利申请文件cn87203964u所披露的翻板式多级流化床的吸附装置，由于其内部结构复杂，且采用翻板式且具有多孔的折流板，极易出现死角，因而难以实现折流板的表面的ep抛光(electropolishing,,电化学抛光工艺)的粗糙度达到较低的水平，极易树脂等净化材料残留，例如位于上一级的树脂与下一级的树脂之间的混淆，例如图1所示的相邻的两个隔室之间树脂进行混淆。
3、因此，如何提供一种用于半导体的纯化产品的吸附装置，以简化内部结构，且实现失效的净化材料的快速替换，以及重分净化材料的利用，是本专利技术亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是如何提供一种用于半导体的纯化产品的吸附装置，以简化内部结构，且实现失效的净化材料的快速替换，以及重分净化材料的利用。
2、为了达到上述目的，本专利技术提供一种吸附柱，包括:
3、具有空腔的罐体；
4、设置于所述空腔内且用于将所述空腔分隔成多个独立的腔体的所述隔板件；其中，所述隔板件上开设有用于使得所述物料流通的通孔，各腔体用于填充设置净化材
5、与各腔体相连通的第一管路；
6、与各腔体相连通的第二管路；
7、设置于各第一管路上的第一阀门组件；
8、设置于各第二管路上的第二阀门组件；
9、与各第一管路和第二管路相连通的交换装置，用于将对应的腔体内抽取的净化材料转移至不同的腔体内，以及将抽取的物料与所述净化材料分离后，重新流入所述空腔；
10、其中，所述物料从所述罐体结构的一端流入后，依次通过各腔体并被所述净化材料所处理后，从另外一端流出。
11、进一步作为优选地，所述交换装置包括：与各第一管路相连通的第一交换管路，与各第二管路相连通的第二交换管路，以及用于连通所述第一交换管路和所述第二交换管路的输送管路；其中，所述输送管路上设置有输送泵，以实现所述第一交换管路和所述第二交换管路之间的流体输送。
12、进一步作为优选地，所述交换装置还包括：与所述第一交换管路相连通的第一流体通道，与所述第二交换管路相连通的第二流体通道，设置于所述第一流体通道上的第一阀门，以及设置于所述第二流体通道上的第二阀门。
13、进一步作为优选地，所述第一管路的管口位于所述第二管路的管口的下方，并且，第一管路的管口深入所述腔体内部；所述第二管路的管口开设于所述罐体的侧壁上。
14、进一步作为优选地，还包括：与各第一管路和/或所述第二管路的管口相连通的喇叭罩体；其中，所述喇叭罩体可转动或固定设置于所述管口上。
15、进一步作为优选地，所述隔板件从上至下依次间隔布置；所述物料从所述腔体的下端流入，并从所述腔体的下端流出；所述腔体的数量至少为三个。
16、进一步作为优选地，还包括：与所述第一阀门组件、所述第二阀门组件以及所述交换装置电连接的控制装置。
17、进一步作为优选地，所述交换装置还包括：再生塔，用于将所述第一管路和/或第二管路吸附的且达到预设的失效等级的净化材料进行再生处理，并将再生的净化材料通过所述第一管路和/或第二管路输送至对应的腔体内，其中，所述再生塔的一端与第一流体通道相连通，而另一端与第二流体通道相连通。
18、进一步作为优选地，所述第一流体通道为再生出料通道；所述第二流体通道为回收进料通道；所述第一管路为抽取管路；所述第二管路为释放管路。
19、进一步作为优选地，还包括：与所述再生塔相连通且用于存储被分离的物料的缓冲罐，以及与所述缓冲罐相连通的真空泵，相对两端分别与所述缓冲罐和所述罐体相连通的回流通道；其中，所述再生塔内具有一滤板；所述真空泵用于通过抽真空的方式，抽取对应的物料和净化材料至所述再生塔内，并通过所述滤板进行分离所述物料后，使得所述净化材料停留在所述再生塔内进行再生。
20、进一步作为优选地，所述净化材料为树脂。
21、进一步作为优选地，所述输送泵为隔膜泵。
22、本专利技术还提供了一种用于半导体的纯化产品的处理方法，通过上述用于半导体的纯化产品的吸附柱进行纯化处理，其包括以下步骤：
23、当物料流入所述空腔后，获取各空腔内的净化材料对所述物料的净化时间；
24、根据各腔体对所述净化材料的净化顺序，确定优先级和失效时间；
25、将达到失效时间的净化材料从对应的腔体内进行抽取排出后，并将未达到失效时间的净化材料抽取后，按照优先级的顺序，依次释放至对应的次一级的优先级的腔体内。
26、进一步作为优选地，所述将达到失效时间的净化材料从对应的腔体内进行抽取排出后，并将未达到失效时间的净化材料抽取后，按照优先级的顺序，依次释放至对应的次一级的优先级的腔体内包括以下步骤：
27、将达到失效时间的净化材料从对应的腔体内进行抽取后，排放至再生塔内进行再生处理，得到再生的净化材料；
28、将未达到失效时间的净化材料抽取后，按照优先级的顺序，依次释放至对应的次一级的优先级的腔体内；
29、将再生的净化材料，按照优先级的倒序，依次释放至对应的上一级的优先级的腔体内。
30、与现有技术相比，本专利技术提供的用于半导体的纯化产品的吸附装置，以简化内部结构，且实现失效的净化材料的快速替换，以及净化材料的重分利用。
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1.一种吸附柱，其特征在于，包括:
2.根据权利要求1所述的吸附柱，其特征在于，所述交换装置包括：与各第一管路相连通的第一交换管路，与各第二管路相连通的第二交换管路，以及用于连通所述第一交换管路和所述第二交换管路的输送管路；其中，所述输送管路上设置有输送泵，以实现所述第一交换管路和所述第二交换管路之间的流体输送。
3.根据权利要求2所述的吸附柱，其特征在于，所述交换装置还包括：与所述第一交换管路相连通的第一流体通道，与所述第二交换管路相连通的第二流体通道，设置于所述第一流体通道上的第一阀门，以及设置于所述第二流体通道上的第二阀门。
4.根据权利要求3所述的吸附柱，其特征在于，所述第一管路的管口位于所述第二管路的管口的下方，并且，第一管路的管口深入所述腔体内部；所述第二管路的管口开设于所述罐体的侧壁上。
5.根据权利要求1所述的吸附柱，其特征在于，还包括：与各第一管路和/或所述第二管路的管口相连通的喇叭罩体；其中，所述喇叭罩体可转动或固定设置于所述管口上；
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的吸附柱，其特征在于，所述交换
7.根据权利要求1至5中任意一项所述的吸附柱，其特征在于，还包括：与所述再生塔相连通且用于存储被分离的物料的缓冲罐，以及与所述缓冲罐相连通的真空泵，相对两端分别与所述缓冲罐和所述罐体相连通的回流通道；其中，所述再生塔内具有一滤板；所述真空泵用于通过抽真空的方式，抽取对应的物料和净化材料至所述再生塔内，并通过所述滤板进行分离所述物料后，使得所述净化材料停留在所述再生塔内进行再生。
8.一种吸附装置，其特征在于，包括：权利要求1至7中任意一项所述的吸附柱，其特征在于，所述吸附柱为两个以上，通过串联或并列的方式设置。
9.一种用于半导体的纯化产品的处理方法，其特征在于，通过权利要求1至7中任意一项所述的用于半导体的纯化产品的吸附柱进行纯化处理，其包括以下步骤：
10.根据权利要求9所述的用于半导体的纯化产品的吸附装置进行纯化处理，所述将达到失效时间的净化材料从对应的腔体内进行抽取排出后，并将未达到失效时间的净化材料抽取后，按照优先级的顺序，依次释放至对应的次一级的优先级的腔体内包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种吸附柱，其特征在于，包括:
2.根据权利要求1所述的吸附柱，其特征在于，所述交换装置包括：与各第一管路相连通的第一交换管路，与各第二管路相连通的第二交换管路，以及用于连通所述第一交换管路和所述第二交换管路的输送管路；其中，所述输送管路上设置有输送泵，以实现所述第一交换管路和所述第二交换管路之间的流体输送。
3.根据权利要求2所述的吸附柱，其特征在于，所述交换装置还包括：与所述第一交换管路相连通的第一流体通道，与所述第二交换管路相连通的第二流体通道，设置于所述第一流体通道上的第一阀门，以及设置于所述第二流体通道上的第二阀门。
4.根据权利要求3所述的吸附柱，其特征在于，所述第一管路的管口位于所述第二管路的管口的下方，并且，第一管路的管口深入所述腔体内部；所述第二管路的管口开设于所述罐体的侧壁上。
5.根据权利要求1所述的吸附柱，其特征在于，还包括：与各第一管路和/或所述第二管路的管口相连通的喇叭罩体；其中，所述喇叭罩体可转动或固定设置于所述管口上；
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的吸附柱，其特征在于，所述交换装置还包括：再生塔，用于将所述第一管路和/或第二管路吸附的且达到预设的失效等级的净化材料进行再生处理...
【专利技术属性】
技术研发人员：王仲恺，董兴玉，陆翔，祝汉铭，周相杰，程林轩，
申请(专利权)人：江苏容导半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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