本实用新型公开了一种镀膜机扩散泵用加热装置，包括扩散泵主体，扩散泵主体下部内腔内安装有加热器，扩散泵主体下部侧壁设有风扇排风管道，风扇排风管道的内径由内向外逐渐变大，扩散泵主体上部外侧壁设有沿扩散泵主体轴向螺旋延伸的冷却水管，冷却水管的...

本实用新型公开了一种离子源阳极，包括阳极基板，阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上，阳极基板中心设置有中心电极，且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合，中心电极在阳极基板上突起，中心电极的突起面上设有若干平滑的凸起。本实用新型提供一种...

本实用新型公开了一种可调式离子源用中和器，包括离子源和设置在离子源正前端的真空室，真空室内的两侧分别设有中和器，中和器的中下部铰接支撑杆的一端，支撑杆的另一端固定在真空室的内侧壁上，中和器的下端铰接推拉杆的一端，推拉杆的另一端固接在气动...

本实用新型公开了一种高效阳极铜管，包括铜管本体，铜管本体上下侧沿其长度方向间隔设有凸起，上下侧的凸起相互错位设置，铜管本体一端沿周间隔开设有通孔。本实用新型提供一种高效阳极铜管，内径不一致，沿铜管本体长度间隔变大，增大了阳极铜管内表面积...

本实用新型公开了一种离子源挡板，包括底板，底板上方设有不锈钢板，不锈钢板中部为空腔且两侧沿不锈钢板高度开设有滑道，滑道内插设有挡板，不锈钢板的一侧固接有连接块，连接块的下端伸入底板一侧贯穿的通槽内，通槽沿底板长度方向开设，连接块的下端一...

本实用新型公开了一种离子束镀膜聚焦离子源，包括放电室、安装在放电室内并与放电室绝缘的阳极筒、设置在阳极筒外周侧的若干磁极、安装在放电室的送气口前方且位于阳极筒内的阴极灯丝及依次安装在放电室正前方的聚焦屏栅和聚焦加速栅，阳极筒位于阴极灯丝...

本实用新型公开了一种离子源新型阴极结构，包括六硼化镧阴极、套杯和阳极，六硼化镧阴极安装在套杯内中心处，套杯前端套设有中心开设有锥形通孔的阳极，阳极锥形通孔的表面均匀分布有三棱锥，阳极锥形通孔的表面涂有一层金属层，阳极上非接触固定有栅极。...

本实用新型公开了一种光学镀膜辅助离子源，包括放电室、位于放电室外侧的磁棒及依次安装在放电室正前方的屏极、加速极及中和灯丝，放电室内安装有第一阳极筒和第二阳极筒，放电室进口端内安装有位于第一阳极筒内的阴极，进口端沿周侧设有进气口，第一阳极...

本实用新型公开了一种六硼化镧阴极，包括AEI基座，AEI基座两侧分别穿插固接有管脚，管脚之间设有陶瓷套，陶瓷套两侧分别通过支撑带与管脚上端固接，陶瓷套内开设有内螺纹，陶瓷套内设有阴极件，阴极件包括外侧开设有外螺纹且通过螺纹连接的方式与陶...

本实用新型公开了一种加固型六硼化镧阴极，包括AEI基座、管脚及阴极件，AEI基座两侧分别穿插固接有管脚，管脚与AEI基座的穿插上下端处分别沿管脚周侧设有第一加强块，管脚之间设有阴极件，阴极件下端的陶瓷柱两侧分别通过支撑带与管脚上端固接，...

本发明公开了一种离子源用高效阳极管，包括第一阳极管和第二阳极管，第一阳极管和第二阳极管相互套接在一起，第一阳极管及第二阳极管的内壁为波浪形，且第一阳极管及第二阳极管的内壁凹凸粗糙不平，第二阳极管的一端沿周开设有通气孔，通气孔的内径口外侧...