一种可调式离子源用中和器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调式离子源用中和器，包括离子源和设置在离子源正前端的真空室，真空室内的两侧分别设有中和器，中和器的中下部铰接支撑杆的一端，支撑杆的另一端固定在真空室的内侧壁上，中和器的下端铰接推拉杆的一端，推拉杆的另一端固接在气动伸缩杆的伸缩端，气动伸缩杆的固定端上包裹有隔热层，气动伸缩杆的固定端穿过真空室的侧壁，隔热层与真空室的侧壁间隙之间安装有金属密封件。本实用新型专利技术中和器与离子源分开，且能够调整中和器的位置，中和器寿命长，中和的效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种可调式离子源用中和器
本技术属于离子束
，具体涉及一种可调式离子源用中和器。
技术介绍
离子源的阴极发出的电子束被射入经磁化的电离室中，与充在室中的气体原子碰撞，使原子电离成一价正离子，而后经过加速电场，可将离子加速并排出。离子持续喷射出正离子束，而带有负电荷的电子会留在电离室中，进而会在电离室中形成强大的负电场，导致正离子的继续排出严重受限，而若电子积累足够多的话，甚至会将排出的正离子再吸引回来，导致离子源无法正常工作。而一般的离子源中会设置有中和器来中和电子，使得电离室中无法形成强大的负电场，保证正离子顺利的排出，但是离子源的中和器平行架设在栅网前方，受离子束强烈轰击，寿命短，维护更换不方便，但是若中和器远离离子源的正前方则会导致中和器对电子中和的效率低，进而导致有部分电子会留在电离室，影响正离子顺利的排出。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术提供一种可调式离子源用中和器，中和器与离子源分开，且能够调整中和器的位置，中和器寿命长，中和的效率高。本技术是通过以下技术方案实现的：一种可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调式离子源用中和器，其特征在于：包括离子源(1)和设置在离子源(1)正前端的真空室(2)，所述真空室(2)内的两侧分别设有中和器(3)，所述中和器(3)的中下部铰接支撑杆(4)的一端，所述支撑杆(4)的另一端固定在所述真空室(2)的内侧壁上，所述中和器(3)的下端铰接推拉杆(5)的一端，所述推拉杆(5)的另一端固接在气动伸缩杆(6)的伸缩端，所述气动伸缩杆(6)的固定端上包裹有隔热层(7)，所述气动伸缩杆(6)的固定端穿过所述真空室(2)的侧壁，所述隔热层(7)与所述真空室(2)的侧壁间隙之间安装有金属密封件(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种可调式离子源用中和器，其特征在于：包括离子源(1)和设置在离子源(1)正前端的真空室(2)，所述真空室(2)内的两侧分别设有中和器(3)，所述中和器(3)的中下部铰接支撑杆(4)的一端，所述支撑杆(4)的另一端固定在所述真空室(2)的内侧壁上，所述中和器(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：安建昊，唐欢欢，
申请(专利权)人：江苏普拉斯玛机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32