下载一种可调式离子源用中和器的技术资料

文档序号:26002076

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本实用新型公开了一种可调式离子源用中和器,包括离子源和设置在离子源正前端的真空室,真空室内的两侧分别设有中和器,中和器的中下部铰接支撑杆的一端,支撑杆的另一端固定在真空室的内侧壁上,中和器的下端铰接推拉杆的一端,推拉杆的另一端固接在气动伸缩...
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