一种离子源阳极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种离子源阳极，包括阳极基板，阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上，阳极基板中心设置有中心电极，且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合，中心电极在阳极基板上突起，中心电极的突起面上设有若干平滑的凸起。本实用新型专利技术提供一种离子源阳极，能够延长阳极板更换周期，进而降低阳极板的更换成本，省时省力。

【技术实现步骤摘要】
一种离子源阳极
本技术属于镀膜领域，具体涉及一种离子源阳极。
技术介绍
离子源在镀膜领域被越来越广泛的使用，离子源除了有起表面刻蚀和活化功能，且能够改变镜片膜层致密性，离子源起的变的越来越重要，因此离子源的使用频率也大为增加。离子源在工作时，带负电荷的阴极钨丝发出的电子束需要用阳极板来中和，而原来的离子源阳极板为整块的不锈钢板制造，电子束会刻蚀到不锈钢板阳极上，用到一定的程度，需要整体更换阳极板，更换一次只需1周，成本较高，且耗时耗力。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术提供一种离子源阳极，能够延长阳极板更换周期，进而降低阳极板的更换成本，省时省力。本技术是通过以下技术方案实现的：一种离子源阳极，包括阳极基板，所述阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上，所述阳极基板中心设置有中心电极，且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合(中心电极底部固接有螺纹柱，阳极基板表面开设有与螺纹柱相匹配的内螺纹槽，螺纹柱旋拧进内螺纹槽以紧固中心电极与阳极基板)，所述中心电极在阳极基板上突起，所述中心电极的突起面上设有若干平滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子源阳极，包括阳极基板(1)，所述阳极基板(1)通过安装部件安装到阳极安装座上，其特征在于：所述阳极基板(1)中心设置有中心电极(2)，且中心电极(2)与阳极基板(1)之间属于可拆卸配合，所述中心电极(2)在阳极基板(1)上突起，所述中心电极(2)的突起面上设有若干平滑的凸起(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子源阳极，包括阳极基板(1)，所述阳极基板(1)通过安装部件安装到阳极安装座上，其特征在于：所述阳极基板(1)中心设置有中心电极(2)，且中心电极(2)与阳极基板(1)之间属于可拆卸配合，所述中心电极(2)在阳极基板(1)上突起，所述中心电极(2)的突起面上设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：安建昊，唐欢欢，
申请(专利权)人：江苏普拉斯玛机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32