下载一种离子源阳极的技术资料

文档序号:26002078

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本实用新型公开了一种离子源阳极,包括阳极基板,阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上,阳极基板中心设置有中心电极,且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合,中心电极在阳极基板上突起,中心电极的突起面上设有若干平滑的凸起。本实用新型提供一种离子...
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