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一种离子源阳极制造技术
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下载一种离子源阳极的技术资料
文档序号:26002078
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本实用新型公开了一种离子源阳极,包括阳极基板,阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上,阳极基板中心设置有中心电极,且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合,中心电极在阳极基板上突起,中心电极的突起面上设有若干平滑的凸起。本实用新型提供一种离子...
该专利属于江苏普拉斯玛机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏普拉斯玛机械有限公司授权不得商用。
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