冷却组件和离子刻蚀机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种冷却组件和离子刻蚀机，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括至少一个水冷座、散热部件、驱动部件和水箱；至少一个水冷座用于放置所述离子枪；所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；所述驱动部件与所述散热部件相连接；所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。本实用新型专利技术所提供的冷却组件，水冷座可降低离子枪的温度，减小对加速栅极与帘栅极之间的电压的影响，并且可减慢离子刻蚀机上电器元件的老化速度，延长电器元件的寿命。

【技术实现步骤摘要】
冷却组件和离子刻蚀机
本技术涉及离子刻蚀机
，具体而言，涉及一种冷却组件和离子刻蚀机。
技术介绍
目前，在相关技术中，半自动离子刻蚀机的离子枪工作时，腔内的温度也会不断升高，腔内温度过高，不仅会影响加速栅极与帘栅极之间的电压，而且会加速腔内各元器件的老化。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的第一方面提出一种冷却组件。本技术的第二方面提出一种离子刻蚀机。有鉴于此，本技术第一方面提供了一种冷却组件，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括至少一个水冷座、散热部件、驱动部件和水箱；至少一个水冷座用于放置所述离子枪；所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；所述驱动部件与所述散热部件相连接；所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。本技术所提供的冷却组件，在离子枪工作时，放置在水冷座上，驱动部件将冷却水由水箱中抽出，送入散热部件中，冷却水经过散本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷却组件，其特征在于，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括：/n至少一个水冷座，所述至少一个水冷座用于放置所述离子枪；/n散热部件，所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；/n驱动部件，所述驱动部件与所述散热部件相连接；/n水箱，所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种冷却组件，其特征在于，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括：
至少一个水冷座，所述至少一个水冷座用于放置所述离子枪；
散热部件，所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；
驱动部件，所述驱动部件与所述散热部件相连接；
水箱，所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。


2.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，还包括：
流量开关，流量开关的一端与所述至少一个水冷座相连接，另一端与所述第一进水口相连接。


3.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，还包括：
第一换热管，所述第一换热管穿设于所述散热部件上，所述第一换热管的一端为进水端，另一端为出水端。


4.根据权利要求3所述的冷却组件，其特征在于，所述散热部件包括：
第二换热管，所述第二换热管的一端与所述至少一个水冷座相连接，另一端与所述驱动部件相连接。


5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹超，王明才，江玉奇，李庆跃，骆红莉，郭雄伟，黄文俊，林土全，
申请(专利权)人：东晶电子金华有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33