冷却组件和离子刻蚀机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种冷却组件和离子刻蚀机，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括至少一个水冷座、散热部件、驱动部件和水箱；至少一个水冷座用于放置所述离子枪；所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；所述驱动部件与所述散热部件相连接；所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。本实用新型专利技术所提供的冷却组件，水冷座可降低离子枪的温度，减小对加速栅极与帘栅极之间的电压的影响，并且可减慢离子刻蚀机上电器元件的老化速度，延长电器元件的寿命。

【技术实现步骤摘要】
冷却组件和离子刻蚀机
本技术涉及离子刻蚀机
，具体而言，涉及一种冷却组件和离子刻蚀机。
技术介绍
目前，在相关技术中，半自动离子刻蚀机的离子枪工作时，腔内的温度也会不断升高，腔内温度过高，不仅会影响加速栅极与帘栅极之间的电压，而且会加速腔内各元器件的老化。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的第一方面提出一种冷却组件。本技术的第二方面提出一种离子刻蚀机。有鉴于此，本技术第一方面提供了一种冷却组件，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括至少一个水冷座、散热部件、驱动部件和水箱；至少一个水冷座用于放置所述离子枪；所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；所述驱动部件与所述散热部件相连接；所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。本技术所提供的冷却组件，在离子枪工作时，放置在水冷座上，驱动部件将冷却水由水箱中抽出，送入散热部件中，冷却水经过散热部件后进入的水冷座内，以冷却放置在水冷座上的离子枪，然后冷却水回流至水箱内；水冷座可降低离子枪的温度，减小对加速栅极与帘栅极之间的电压的影响，并且可减慢离子刻蚀机上电器元件的老化速度，延长电器元件的寿命。并且，冷却水由水箱出流出后，经过散热部件和水冷座后再回到水箱内，实现内循环，使得冷却水反复使用，减少水资源的浪费。冷却水在进入到水冷座后，温度升高，高温冷却水先进入到水箱中进行冷却，再被驱动部件抽入到散热部件中进行散热，以再次进入到水冷座内，冷却放置在水冷座上的离子枪。另外，本技术提供的上述技术方案中的冷却组件还可以具有如下附加技术特征：在本技术的一个技术方案中，冷却组件还包括流量开关，流量开关的一端与所述至少一个水冷座相连接，另一端与所述第一进水口相连接。在该技术方案中，流量计可检测管路内的流量，并且可根据流量控制驱动部件的功率，以实现对流量的控制。当管路中的水流量大于1L/min(升/分钟)流量时，流量开关的磁心在水流作用下产生位移，并带动磁源产生磁控作用，使流量开关输出“1”开关信号，该信号输入到离子刻蚀机的控制组件，经功率放大后，实现对水流量控制的目的。当管路中的水流量小于1L/min流量后，磁芯在复位弹簧推力作用下，带动磁源回原位，使流量开关输出“0”开关信号，停止离子刻蚀机工作。尤其在冷却组件的水路堵塞时，流量计可及时控制离子刻蚀机停止工作，以减慢离子刻蚀机上电器元件的老化速度，延长电器元件的寿命。在本技术的一个技术方案中，冷却组件还包括第一换热管，所述第一换热管穿设于所述散热部件上，所述第一换热管的一端为进水端，另一端为出水端。在该技术方案中，第一换热管的两端均与外部水源相连接，并且可与散热部件换热，通过外部水源对散热部件进行冷却，提升散热部件的散热效率。在离子刻蚀机所处的环境温度较低，散热部件散热效果较佳时，可不开启第一换热管，在环境温度较高，散热部件的散热效果较差时，可以开启第一换热管来辅助散热器散热，以提升散热器的散热效果，进而提升冷却座的冷却效果。在本技术的一个技术方案中，所述散热部件包括第二换热管，所述第二换热管的一端与所述至少一个水冷座相连接，另一端与所述驱动部件相连接。在该技术方案中，第二换热管便于与第一换热管进行热交换，进而提升散热部件的换热速度。第二换热管可呈Z字型或波浪形等可延长第二换热管长度的方式进行设置。在本技术的一个技术方案中，所述至少一个水冷座包括本体和安装孔；所述本体设置有腔体；所述安装孔设置于所述本体上，用于放置所述离子枪。在该技术方案中，离子枪设置在安装孔内，实现对离子枪的支撑，确保离子枪的稳定性；并且本体内设置有腔体，腔体内可通入冷却液，在离子枪工作时，实现对离子枪进行冷却。在本技术的一个技术方案中，所述至少一个水冷座还包括第二进水口和第二出水口；所述第二进水口设置于所述本体上，与所述散热部件相连接；所述第二出水口设置于所述本体上，与所述水箱相连接；所述第二进水口位于所述第二出水口的下方。在该技术方案中，水冷座设置有第二进水口和第二出水口，并且第二进水口位于第二出水口的下方，温度较低的冷却水由第二进水口进入到水冷座后，会向上运动，再由第二出水口流出水冷座，进而确保温度较高的冷却水及时排出水冷座，降低水冷座内冷却水的温度，提升水冷座的冷却效果。在本技术的一个技术方案中，所述腔体环绕所述安装孔设置。在该技术方案中，腔体环绕所述安装孔设置，使得离子枪均匀散热，使得离子枪的温度更加均匀，避免因离子枪温度不均而影响离子枪的正常工作。在本技术的一个技术方案中，所述至少一个水冷座的数量为多个，多个水冷座串联或并联设置；或所述至少一个水冷座的数量为一个，所述安装孔的数量为多个。在该技术方案中，水冷座的数量为多个，每个水冷座均设置有一个安装孔，以为每个离子枪配置一个水冷座，使得实现对离子枪的独立冷却。水冷座也可为一个，一个水冷座上设置多个安装孔，每个离子枪放置在一个安装孔内。水冷座为多个时，多个水冷座可以串联，即第一个水冷座的第二进水口与散热部件相连接，第二出水口与下一个水冷座的第二进水口相连接，下一个水冷座的第二出水口与水箱相连接。多个水冷座也可并联，即多个水冷座的第二进水口均与散热部件相连接，第二出水口均与水箱相连接。水冷座为两个，分别为第一水冷座和第二水冷座。第一水冷座和第二水冷座串联，第一水冷座的第二进水口与散热部件相连接，第一水冷座的第二出水口与第二水冷座的第二进水口相连接，第二水冷座的第二出水口与水箱相连接。第一水冷座和第二水冷座并联，第一水冷座和第二水冷座的第二进水口与散热部件相连接，第一水冷座和第二水冷座的第二出水口与水箱相连接。在本技术的一个技术方案中，所述驱动部件为水泵。本技术第二方面提供了一种离子刻蚀机，包括如上述任一技术方案所述的冷却组件，因此该例子刻蚀机具备上述任一技术方案所述的冷却组件的全部有益效果。具体地，石英晶体谐振器在制造过程中，需通过离子刻蚀机中离子枪高压分解惰性气体，来中和晶体上的银离子，从而保证它的电气特性。离子刻蚀机包括阴极灯丝和阳极杯，离子枪首先在阴极灯丝与阳极杯之间加40V的电压，使阴极灯丝与阳极杯之间产生电场，同时给阴极灯丝通10A的电流，使灯丝温度升高，从而阴极灯丝产生大量的热电子。热电子会加速向阳极杯运动，从而产生1A的释放电流。在热电子运动过程中，受到带磁性底座的作用，运动轨迹变为螺旋状，从而增加热电子和氩气原子相撞的机会，碰撞会导致辉光放电，引起氩气原子电离，从而产生大量的带正电的氩离子和带负电的电子。带负电的电子由于受带高压正电(300-700V)的阳极杯的吸引，附着在阳极杯上。而带正电的氩离子由于阳极杯的高压正电的排斥本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷却组件，其特征在于，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括：/n至少一个水冷座，所述至少一个水冷座用于放置所述离子枪；/n散热部件，所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；/n驱动部件，所述驱动部件与所述散热部件相连接；/n水箱，所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种冷却组件，其特征在于，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括：
至少一个水冷座，所述至少一个水冷座用于放置所述离子枪；
散热部件，所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；
驱动部件，所述驱动部件与所述散热部件相连接；
水箱，所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。


2.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，还包括：
流量开关，流量开关的一端与所述至少一个水冷座相连接，另一端与所述第一进水口相连接。


3.根据权利要求1所述的冷却组件，其特征在于，还包括：
第一换热管，所述第一换热管穿设于所述散热部件上，所述第一换热管的一端为进水端，另一端为出水端。


4.根据权利要求3所述的冷却组件，其特征在于，所述散热部件包括：
第二换热管，所述第二换热管的一端与所述至少一个水冷座相连接，另一端与所述驱动部件相连接。


5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹超，王明才，江玉奇，李庆跃，骆红莉，郭雄伟，黄文俊，林土全，
申请(专利权)人：东晶电子金华有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33