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本实用新型提供了一种冷却组件和离子刻蚀机，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括至少一个水冷座、散热部件、驱动部件和水箱；至少一个水冷座用于放置所述离子枪；所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；所述驱...
该专利属于东晶电子金华有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东晶电子金华有限公司授权不得商用。

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