【技术实现步骤摘要】
电极板辅助安装装置
本技术涉及辅助安装治具
,具体是电极板辅助安装装置。
技术介绍
离子注入机属于高精度设备,注入机的电极板又与拉出波束的质量有很大关系,所以电极板定期更换属于离子注入机保养及维护的一个重要项目。目前离子注入机的离子源部分三个月保养一次,电极板随之更换,一次更换的数量为四块电极板,电极板安装时要求的精度高(允许误差在正负0.1mm),对位比较困难,并且四块电极板之间间隙与对位要求非常高,极小的偏差就会对波束的均一性造成影响。现电极板安装,基本依靠人力和操作人员的经验,很难达到精准对位,需要花费大量的人力和时间,容易出错,还会造成电极板表面损伤,缩短电极板使用寿命;另外,在更换电极板时,长时间安装会导致整个产线停滞,降低设备的正常运行时间,对工艺性能有很大影响。中国专利(公告号:CN206961790U,公告日:2018.02.02)公开了一种电极板辅助安装装置,包括基板、电机、微调电机及安装在所述基板上的夹具,所述微调电机用于控制所述夹具的移动,其中,所述电机包括用于控制所述夹具张合的第一电机。 ...
【技术保护点】
1.电极板辅助安装装置,包括外箱体(1)和内箱体(4),内箱体(4)设置在外箱体(1)的内部,其特征在于,外箱体(1)的内侧壁前后端固定连接在第一液压杆(7)的外端,第一液压杆(7)的内端滑动连接在内箱体(4)的外侧壁上,外箱体(1)的内部左右侧壁固定连接在第二液压杆(9)的外端,第二液压杆(9)的内端滑动连接在内箱体(4)的外侧上,内箱体(4)的内底部设置有推进组件(8)和支撑件(10),外箱体(1)的底部固定设置有摄像头(5),摄像头(5)、推进组件(8)、第一液压杆(7)、第二液压杆(9)通过PLC系统电性控制器(2)。/n
【技术特征摘要】
1.电极板辅助安装装置,包括外箱体(1)和内箱体(4),内箱体(4)设置在外箱体(1)的内部,其特征在于,外箱体(1)的内侧壁前后端固定连接在第一液压杆(7)的外端,第一液压杆(7)的内端滑动连接在内箱体(4)的外侧壁上,外箱体(1)的内部左右侧壁固定连接在第二液压杆(9)的外端,第二液压杆(9)的内端滑动连接在内箱体(4)的外侧上,内箱体(4)的内底部设置有推进组件(8)和支撑件(10),外箱体(1)的底部固定设置有摄像头(5),摄像头(5)、推进组件(8)、第一液压杆(7)、第二液压杆(9)通过PLC系统电性控制器(2)。
2.根据权利要求1所述的电极板辅助安装装置,其特征在于,外箱体(1)的底部四角设置有万向轮(6),万向轮(6)上设置有卡板。
3.根据权利要求1所述的电极板辅助安装装置,其特征在于,内箱体(4)的顶部前后侧固定设置有导入板(3),导入板(3)呈现为V字型结构。
...
【专利技术属性】
技术研发人员:程亚莲,
申请(专利权)人:江苏友诺环保科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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