本发明提供了一种一种窄分布聚合物树脂的制备方法，包括如下步骤：在惰性气氛中，将树脂单体、自由基引发剂以及氮氧稳定自由基溶于溶剂A中，在110～150℃下进行聚合反应4～24h，之后加入还原剂停止聚合反应，得聚合物树脂；所述聚合物树脂分子...

本发明属于感光树脂组合物领域，公开了一种正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法。正型感光树脂组合物，包括所述第一组分，为含酚羟基的碱可溶性树脂；所述第二组分，为含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂，所述第三组分，为重氮萘醌酯类的萘醌酯类光敏化...

本发明属于酰亚胺结构含量检测技术领域，具体公开了一种针对聚酰亚胺前体树脂中酰亚胺结构含量的测试方法：制备光敏聚酰亚胺前体树脂样品；将样品旋涂在溴化钾压片上；并烘烤，将得到的固化前样品压片；采用红外光谱方法检测，得到苯环碳碳双键的吸收值A...

本发明属于感光树脂组合物领域，具体公开了一种正型感光树脂组合物及固化图案的制备方法。正型感光树脂组合物包括(A)碱溶性树脂聚合物；(B)交联化合物，所述交联化合物选自第一交联化合物、第二交联化合物和第三交联化合物中的至少两种；和(C)酚...

本发明属于光固化技术领域，具体公开了一种负型感光树脂组合物及固化膜，所述负型感光树脂组合物，包括如下质量份的各组分：(A)碱溶性树脂聚合物、(B)交联剂、(C)活性稀释剂、(D)光引发剂，其中，所述交联剂包括第一交联剂和第二交联剂，所示...

本发明提供一种光致产酸剂、光致产酸剂及其中间体的制备方法。该光致产酸剂包括如下结构通式：其中，R为氢原子或羟基，M

本发明提供一种酸扩散抑制剂、含酸扩散抑制剂的化学放大型光刻胶及其制备与使用方法。所述酸扩散抑制剂为含有羟基哌啶的衍生物，结构通式如下：其中，R1为极性基团，R2为化学键或亚烷基，R3为烷基。所述光刻胶包括如下的各组分：聚合物树脂、光致产...

本发明涉及一种化学放大光刻胶及其制备与使用方法，所述光刻胶包括如下质量百分比的各组分：聚合物树脂，光刻胶的5～10％；光酸，聚合物树脂的4～10％；猝灭剂，光酸的10～40％；UV吸收剂，聚合物树脂的0.5～5％；流平剂，光刻胶的0.1...

本发明涉及光刻胶技术领域，且公开了一种化学放大型负性UV光刻胶，按质量百分比，所述光刻胶包括以下组分：PHS树脂10

本发明提供一种聚合物树脂及其制备方法、电子束光刻胶及其制备与使用方法。聚合物树脂包括以下共聚的三种重复单元：第一重复单元，其衍生自芳香族乙烯基单体；第二重复单元，其衍生自α

本发明提供了一种聚合物树脂及其合成方法、含聚合物树脂的光刻胶、光刻胶的制备方法和使用方法。聚合物树脂由占总摩尔百分数为50～70％的第一树脂单体、10～30％的第二树脂单体、10～30％的第三树脂单体和1～10％的第四树脂单体经聚合形成...

本发明公开了一种光致产酸剂及其制备方法，属于有机合成技术领域。所述光致产酸剂的结构通式如下：其中，R1为脂环烃基、R2为亚烷基、R3为氢或烷基。光致产酸剂的制备方法为由化合物Ⅲ与化合物Ⅱ经离子交换在第一溶剂中反应，纯化得到光致产酸剂Ⅰ。...

本发明提供一种羟基取代的苯乙烯类化合物的合成方法及光刻胶树脂单体的合成方法。该羟基取代的苯乙烯类化合物的合成方法包括如下步骤：a)由式I

本发明提供一种光刻胶树脂单体的制备方法，包括如下步骤：c)由式I

本发明涉及一种聚合物树脂及其制备方法、改善电子束光刻胶开裂的方法、电子束光刻胶及其制备与使用。聚合物树脂的制备方法包括如下步骤：1)包含芳香族乙烯基单体和α

本发明涉及一种有机硅表面活性剂的用途、改善电子束光刻胶灵敏度的方法、电子束光刻胶及其制备与使用，在制备电子束光刻胶时，加入有机硅表面活性剂。电子束光刻胶包括如下质量百分比的各组分：聚甲基丙烯酸甲酯2～15％；溶剂84.85～97.998...

本发明涉及一种化学放大型正性紫外光刻胶及其制备与使用方法，所述光刻胶包括如下质量百分比的各组分：聚对羟基苯乙烯类聚合物树脂25～45％；光致产酸剂0.5～1.5％；酸猝灭剂0.1～0.2％；交联剂2～4％；流平剂0.1～0.5％；溶剂4...

本申请涉及一种树脂化合物，其至少包括衍生自羟基苯乙烯的第一重复单元和衍生自丙烯酸酯的第二重复单元。本申请还涉及上述树脂化合物的合成方法。本申请还涉及一种包含如上所述的树脂化合物的光刻胶组合物。本申请的光刻胶组合物可用于解决KrF厚膜光刻...

本申请涉及一种含氟树脂化合物，其至少包含衍生自含氟丙烯酸酯的第一重复单元、衍生自羟基苯乙烯的第二重复单元、以及衍生自不含氟丙烯酸酯的第三重复单元。本申请还涉及上述含氟树脂化合物的合成方法。本申请还涉及一种包含如上所述的含氟树脂化合物的光...

本申请涉及一种生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物，所述生物基水溶性负性紫外光刻胶组合物包括以下组分：a)室温稳定且不胶凝的明胶水溶液；b)水溶性光引发剂；以及c)可聚合单体，其包括多官能团的可交联的单体。本申请还涉及一种利用上述光刻胶组合...