本发明公开了一种真空镀膜机烘烤加热控制方法，涉及真空镀膜机技术领域，用于解决现有真空镀膜机烘烤加热控制方法由于加热元件的布局和热传导特性，导致基片或靶材在加热过程中温度分布不均匀，出现温度梯度和热点现象的问题，本发明包括以下步骤：S1：...

本发明涉及一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统，包括设置在机箱内部的镀膜机构，镀膜机构包括设置在机箱内部的镀膜室、承载组件、涂抹组件、反挡组件以及切换组件，涂抹组件包括设置在切换组件上且用于涂覆管件内壁的内涂单元以及设置在切换组件上且用于涂覆管...

本发明涉及一种蒸发镀膜机高效镀膜系统，包括设置在机架上的传输机构以及沿着所述传输机构传动方向设置有多个承载机构；沿所述传输机构传动方向依次设置有落料工位

本申请涉及一种高真空镀膜设备及方法，包括安装架，所述安装架上固定安装有镀膜箱，镀膜箱用于对多个工件的表面进行镀膜，镀膜箱内还设有用于装载多个工件的承载组件，以及用于工件镀膜时对工件的两端进行密封的夹持组件，镀膜箱内还设有与镀膜腔室隔离的...