【技术实现步骤摘要】
一种高真空镀膜设备及方法
[0001]本专利技术涉及镀膜工件领域，尤其涉及一种高真空镀膜设备及方法
。
技术介绍
[0002]真空镀膜能在金属
、
半导体
、
绝缘体
、
塑料
、
纸张
、
织物等表面上沉积金属
、
半导体
、
绝缘体
、
不同成分比的合金
、
化合物及部分有机聚合物等得薄膜，其应用范围极广；目前，真空镀膜要获得较好的附着力，在镀膜前经常需要进行底涂，底涂施工时无论是采用喷涂还是采用浸涂，都需要镀膜油，而镀膜油的价格较昂贵，特别是非极性类材料的表面活性较差，表面附着力极低，需要涂镀膜油来增大材料的表面活性
。
[0003]中国专利
CNN201721592355.X
公开了一种真空镀膜设备，包括腔体，腔体包括有第一中转腔室
、
第二中转腔室以及若干个首尾相连的镀膜腔室，相邻镀膜腔室之间设置有传板阀，每个镀膜腔室
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种高真空镀膜设备，其特征在于，包括安装架
(1)
，所述安装架
(1)
上固定安装有镀膜箱
(2)
，所述镀膜箱
(2)
用于对多个工件
(9)
的表面进行镀膜，所述镀膜箱
(2)
内还设有用于装载多个所述工件
(9)
的承载组件
、
用于所述工件
(9)
镀膜时对所述工件
(9)
的两端进行密封的夹持组件，所述夹持组件包含与多个所述工件
(9)
两端位置分别对应的封顶气缸
(17)
和封边气缸
(21)
，所述封顶气缸
(17)
和封边气缸
(21)
用于所述工件
(9)
镀膜时对所述工件
(9)
内部进行密封，所述镀膜箱
(2)
内还设有与镀膜腔室隔离的旋转组件，所述旋转组件用于带动多个所述工件
(9)
保持旋转镀膜
。2.
根据权利要求1所述的一种高真空镀膜设备，其特征在于，所述封顶气缸
(17)
的伸缩端连接有升降座
(18)
，所述封边气缸
(21)
的伸缩端连接有支撑座
(22)
，所述升降座
(18)
与所述支撑座
(22)
在靠近所述工件
(9)
的一侧分别设置有若干组用于支撑所述工件
(9)
的支撑组件
(26)
；所述支撑组件
(26)
包括与所述升降座
(18)
或所述支撑座
(22)
相连接的驱动单元
(261)、
与所述驱动单元
(261)
相连接且上端开设有若干个滑动槽
(262)
的转动盘
(263)、
若干个与所述滑动槽
(262)
相配合且用于支撑所述工件
(9)
内壁的第一支撑板
(264)、
与所述滑动槽
(262)
相配合且中间连接有缓冲弹簧
(265)
的第二支撑板
(266)
以及与所述第一支撑板
(264)、
所述第二支撑板
(266)
相配合的固定板
(267)。3.
根据权利要求2所述的一种高真空镀膜设备，其特征在于，所述工件
(9)
上还开设有若干个安装孔
(91)
，在对应于安装孔
(91)
的位置处设置有两个相互配合的第一安装块
(92)
与第二安装块
(93)
；所述第二支撑板
(266)
在对应于所述安装孔
(91)
的位置处还设置有用于夹紧第一安装块
(92)
或第二安装块
(93)
的夹手
(268)。4.
根据权利要求1所述的一种高真空镀膜设备，其特征在于，所述承载组件包含用于放置多个所述工件
(9)
的承载板
(11)
，所述镀膜箱
(2)
内设有多组转盘
(7)
，同一相对位置上的两个所述转盘
(7)
之间还固定安装有多个弧形连板
(8)
，且相邻两个所述弧形连板
(8)
之间的间隙大于所述工件
(9)
上的最大宽度，最低端的所述弧形连板
(8)
上还固定套接有安装气缸
(10)
，所述安装气缸
(10)
的伸缩端与对应所述承载板
(11)
的底端固定连接有同一个弧形支撑板
(16)。5.
根据权利要求4所述的一种高真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜箱
(2)
内还设置有用于向工件
(9)
外表面镀膜处理的镀膜组件
(27)
以及与所述镀膜组件
(27)
相配合设置的控制组件
(28)
；所述镀膜组件
(27)
包括与驱动装置
(271)
相连接且连接有涂料管道
(272)
的固定支座
(273)、
与所述涂料管道
(272)
相连接的若干个喷涂主管
(274)、
设置在所述喷涂主管
技术研发人员：朱九菊，刘年生，安建昊，唐欢欢，
申请(专利权)人：江苏派莱特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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