System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统技术方案_技高网

一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统技术方案

技术编号:39948862 阅读:6 留言:0更新日期:2024-01-08 23:08
本发明专利技术涉及一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,包括设置在机箱内部的镀膜机构,镀膜机构包括设置在机箱内部的镀膜室、承载组件、涂抹组件、反挡组件以及切换组件,涂抹组件包括设置在切换组件上且用于涂覆管件内壁的内涂单元以及设置在切换组件上且用于涂覆管件外壁的外涂单元;本发明专利技术能够对管件内、外壁同时涂覆底漆,正、反两方向涂刷管件内壁,确保管件内壁的凸条两侧面均可以涂抹到底漆,提高了管件内壁涂覆底漆的均匀度,提高了管件整体的镀膜效果,可以批量化镀膜管件,增加企业的经济效益,从而解决了传统的蒸发镀膜机不方便对内壁带有凸起的管件进行涂覆底漆和镀膜,导致管件内壁镀膜不均匀的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蒸发镀膜,尤其涉及一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统


技术介绍

1、蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面沉积获得薄膜材料的方法,能在金属、半导体、化合物及部分有机聚合物等的薄膜,真空蒸发镀膜的原理是将镀膜材料放置于蒸镀装置的蒸发源中加热蒸发,形成的镀膜材料的气体分子或原子沉积到待镀膜基板上形成膜层,蒸发源是蒸发镀膜机中用来加热膜料使之气化蒸发的部件,蒸发源一般由坩埚和设于坩埚上方的多个喷嘴组成,通过对坩埚进行加热,使其中的蒸镀材料变为蒸气,在坩埚内部均匀后蒸气从喷嘴喷出至基板上成膜。对管件内壁进行改进及强化可满足管件在复杂恶劣环境下的使用,比如在管件内壁上设置凸起以增加管件内表面,以及应用电镀或化学镀提高管件内壁的表面强化效果。

2、专利号为cn201811360942.5的专利文献公开了一种管件内壁真空镀膜装置及生产工艺,包括翻转组件、磁靴组件、真空腔室、阴极组件、管件台、加热筒、绝缘组件及密封组件,翻转组件套装在真空腔室上可实现上下料时的真空腔室的翻转,真空腔室内可套装管件台用于夹装待镀管件,管件台上套装加热筒用以加热管件,阴极组件通过绝缘组件及密封组件套装在待镀管件内,阴极组件包括磁控溅射阴极及电弧阴极,不同阴极装配相应的磁靴组件,通过利用一次性铜管加工靶料形成的水冷阴极在真空下的磁控溅射、电弧离子镀对管件内壁进行硬质涂层的沉积。

3、但是,在实际使用过程中,专利技术人发现传统的蒸发镀膜机不方便对内壁带有凸起的管件进行涂覆底漆和镀膜,导致管件内壁镀膜不均匀的问题。


技术实现思路

1、本专利技术的目的是针对现有技术的不足之处,提供一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,通过设置的涂抹组件和反挡组件配合,能够对管件内、外壁同时涂覆底漆,正、反两方向涂刷管件内壁,确保管件内壁的凸条两侧面均可以涂抹到底漆,提高了管件内壁涂覆底漆的均匀度,有利于管件内壁的镀膜工作,提高了管件整体的镀膜效果,自动化较高,可以批量化镀膜管件,增加企业的经济效益,从而解决了传统的蒸发镀膜机不方便对内壁带有凸起的管件进行涂覆底漆和镀膜,导致管件内壁镀膜不均匀的技术问题。

2、针对以上技术问题,采用技术方案如下:

3、一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,包括设置在机箱上方位置的抽真空机构、设置在所述机箱内部的蒸发机构以及设置在所述机箱内部的镀膜机构,所述镀膜机构包括设置在所述机箱内部的镀膜室、设置在所述镀膜室内部且用于放置管件的承载组件、设置在所述镀膜室内部且用于向管件内外壁涂覆底漆的涂抹组件、设置在所述镀膜室内部且用于将蒸镀材料导向至管件内壁的反挡组件以及设置在所述镀膜室内部且用于切换涂抹组件和反挡组件工位的切换组件,所述管件内壁均匀分布有若干组凸条;

4、所述涂抹组件包括设置在所述切换组件上且用于涂覆管件内壁的内涂单元以及设置在所述切换组件上且用于涂覆管件外壁的外涂单元。

5、作为优选,所述切换组件包括设置在所述镀膜室内部的支板、设置在所述镀膜室内部的第一螺纹杆、螺纹贯穿于所述第一螺纹杆上的第一螺纹块以及设置在所述镀膜室内壁且用于驱动第一螺纹杆的第一步进电机。

6、作为优选,所述内涂单元包括设置在所述第一螺纹块上且与支板滑动配合的第一通道、滑动设置在所述第一通道内壁的第一安装板、贯穿且转动设置在所述第一安装板上的第一注液管、套设在所述第一注液管外壁的套筒、若干组设置在所述第一注液管一端部的第一杆刷、若干组通过l形连杆设置在所述套筒一端部且与第一杆刷反方向转动的第二杆刷、设置在所述第一注液管底部且位于套筒端口的第一喷嘴、设置在所述第一注液管上的第一齿轮、转动设置在所述第一安装板上且通过l形连杆与套筒相连接的内齿环、转动设置在所述第一安装板上且用于同时驱动第一齿轮和内齿环的第二齿轮、设置在所述第一安装板上且用于驱动第二齿轮的第二步进电机、设置在所述第一安装板上的第一磁铁块、设置在所述镀膜室外壁的第一液压件以及设置在所述第一液压件输出轴且与第一磁铁块相匹配的第一通电磁铁。

7、作为优选,所述外涂单元包括设置在所述第一安装板上且与第一注液管相连通的储液盒、设置在所述第一安装板上且与储液盒相连通的第二注液管、设置在所述第二注液管端部的第二喷嘴以及设置在所述第一安装板上且用于收集管件外壁滴落的废液的回收盒。

8、作为优选,所述反挡组件包括螺纹贯穿于所述第一螺纹杆上的第二螺纹块、设置在所述第二螺纹块上且与支板滑动配合的第二通道、滑动设置在所述第二通道内壁的第二安装板、贯穿且转动设置在所述第二安装板上的通杆、若干组设置在所述通杆一端部且其表面带有电加热板的弧形反射板、设置在所述通杆另一端部的第一锥形齿轮、通过耳板设置在所述第二安装板上且用于驱动第一锥形齿轮的第二锥形齿轮、设置在所述第二安装板上且通过皮带、皮带轮的传动方式以驱动第二锥形齿轮的第三齿轮、设置在所述第二通道内壁且用于驱动第三齿轮的齿条以及设置在所述第二安装板上的第二磁铁块。

9、作为优选,所述承载组件包括滑动设置在所述镀膜室底部的转台单元、设置在所述转台单元上的夹持单元以及设置在所述夹持单元上的旋转单元;

10、所述转台单元包括转动设置在所述镀膜室内部的第二螺纹杆、螺纹贯穿于所述第二螺纹杆上的第三螺纹块、转动设置在所述第三螺纹块上的转盘、设置在所述第三螺纹块内部且用于驱动转盘的第三步进电机以及设置在所述镀膜室内壁且用于驱动第二螺纹杆的第四步进电机。

11、作为优选,所述夹持单元包括两组设置在所述转盘上的中空置物板、升降设置在所述中空置物板内部的升降板、两组设置在所述升降板上的立杆、设置在一所述立杆上端的第一立环、设置在另一所述立杆上端的第二立环、转动设置在所述第一立环侧面且用于夹持住管件一端部的外齿环、若干组贯穿且滑动设置在所述第二立环上的插杆、设置在所述插杆一端部与第二立环侧面之间的弹性件、设置在所述插杆另一端部之间的夹环、设置在所述夹环侧面且用于夹持住管件另一端部的环垫以及设置在所述转盘底部且用于驱动升降板带着管件升降的第二液压件。

12、作为优选,所述旋转单元包括设置在一所述立杆上且用于驱动外齿环的第四齿轮以及设置在所述立杆上且用于驱动第四齿轮的第五步进电机。

13、作为优选,所述抽真空机构包括设置在所述机箱顶部的真空发生器以及设置在所述真空发生器上且与机箱内部相连通的管道。

14、作为优选,所述蒸发机构包括设置在所述机箱内部的蒸发室以及设置在所述蒸发室内壁且用于向镀膜室内部释放蒸镀材料的输出管。

15、本专利技术的有益效果:

16、(1)本专利技术中通过设置的涂抹组件和反挡组件配合,一方面,能够对管件内、外壁同时涂覆底漆,正、反两方向涂刷管件内壁,确保管件内壁的凸条两侧面均可以涂抹到底漆,提高了管件内壁涂覆底漆的均匀度,有利于管件内壁的镀膜工作;另一方面,能够先后对管件内、外壁镀膜,保证管件内壁的凸条表面均匀镀膜,提高了管件整体的镀膜效果,自动化较高,可以批量化镀膜管件,增加企本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,包括设置在机箱上方位置的抽真空机构、设置在所述机箱内部的蒸发机构以及设置在所述机箱内部的镀膜机构,其特征在于,所述镀膜机构包括设置在所述机箱内部的镀膜室、设置在所述镀膜室内部且用于放置管件的承载组件、设置在所述镀膜室内部且用于向管件内外壁涂覆底漆的涂抹组件、设置在所述镀膜室内部且用于将蒸镀材料导向至管件内壁的反挡组件以及设置在所述镀膜室内部且用于切换涂抹组件和反挡组件工位的切换组件,所述管件内壁均匀分布有若干组凸条;

2.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述切换组件包括设置在所述镀膜室内部的支板、设置在所述镀膜室内部的第一螺纹杆、螺纹贯穿于所述第一螺纹杆上的第一螺纹块以及设置在所述镀膜室内壁且用于驱动第一螺纹杆的第一步进电机。

3.根据权利要求2所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述内涂单元包括设置在所述第一螺纹块上且与支板滑动配合的第一通道、滑动设置在所述第一通道内壁的第一安装板、贯穿且转动设置在所述第一安装板上的第一注液管、套设在所述第一注液管外壁的套筒、若干组设置在所述第一注液管一端部的第一杆刷、若干组通过L形连杆设置在所述套筒一端部且与第一杆刷反方向转动的第二杆刷、设置在所述第一注液管底部且位于套筒端口的第一喷嘴、设置在所述第一注液管上的第一齿轮、转动设置在所述第一安装板上且通过L形连杆与套筒相连接的内齿环、转动设置在所述第一安装板上且用于同时驱动第一齿轮和内齿环的第二齿轮、设置在所述第一安装板上且用于驱动第二齿轮的第二步进电机、设置在所述第一安装板上的第一磁铁块、设置在所述镀膜室外壁的第一液压件以及设置在所述第一液压件输出轴且与第一磁铁块相匹配的第一通电磁铁。

4.根据权利要求3所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述外涂单元包括设置在所述第一安装板上且与第一注液管相连通的储液盒、设置在所述第一安装板上且与储液盒相连通的第二注液管、设置在所述第二注液管端部的第二喷嘴以及设置在所述第一安装板上且用于收集管件外壁滴落的废液的回收盒。

5.根据权利要求2所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述反挡组件包括螺纹贯穿于所述第一螺纹杆上的第二螺纹块、设置在所述第二螺纹块上且与支板滑动配合的第二通道、滑动设置在所述第二通道内壁的第二安装板、贯穿且转动设置在所述第二安装板上的通杆、若干组设置在所述通杆一端部且其表面带有电加热板的弧形反射板、设置在所述通杆另一端部的第一锥形齿轮、通过耳板设置在所述第二安装板上且用于驱动第一锥形齿轮的第二锥形齿轮、设置在所述第二安装板上且通过皮带、皮带轮的传动方式以驱动第二锥形齿轮的第三齿轮、设置在所述第二通道内壁且用于驱动第三齿轮的齿条以及设置在所述第二安装板上的第二磁铁块。

6.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述承载组件包括滑动设置在所述镀膜室底部的转台单元、设置在所述转台单元上的夹持单元以及设置在所述夹持单元上的旋转单元;

7.根据权利要求6所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述夹持单元包括两组设置在所述转盘上的中空置物板、升降设置在所述中空置物板内部的升降板、两组设置在所述升降板上的立杆、设置在一所述立杆上端的第一立环、设置在另一所述立杆上端的第二立环、转动设置在所述第一立环侧面且用于夹持住管件一端部的外齿环、若干组贯穿且滑动设置在所述第二立环上的插杆、设置在所述插杆一端部与第二立环侧面之间的弹性件、设置在所述插杆另一端部之间的夹环、设置在所述夹环侧面且用于夹持住管件另一端部的环垫以及设置在所述转盘底部且用于驱动升降板带着管件升降的第二液压件。

8.根据权利要求7所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述旋转单元包括设置在一所述立杆上且用于驱动外齿环的第四齿轮以及设置在所述立杆上且用于驱动第四齿轮的第五步进电机。

9.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述抽真空机构包括设置在所述机箱顶部的真空发生器以及设置在所述真空发生器上且与机箱内部相连通的管道。

10.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述蒸发机构包括设置在所述机箱内部的蒸发室以及设置在所述蒸发室内壁且用于向镀膜室内部释放蒸镀材料的输出管。

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【技术特征摘要】

1.一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,包括设置在机箱上方位置的抽真空机构、设置在所述机箱内部的蒸发机构以及设置在所述机箱内部的镀膜机构,其特征在于,所述镀膜机构包括设置在所述机箱内部的镀膜室、设置在所述镀膜室内部且用于放置管件的承载组件、设置在所述镀膜室内部且用于向管件内外壁涂覆底漆的涂抹组件、设置在所述镀膜室内部且用于将蒸镀材料导向至管件内壁的反挡组件以及设置在所述镀膜室内部且用于切换涂抹组件和反挡组件工位的切换组件,所述管件内壁均匀分布有若干组凸条;

2.根据权利要求1所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述切换组件包括设置在所述镀膜室内部的支板、设置在所述镀膜室内部的第一螺纹杆、螺纹贯穿于所述第一螺纹杆上的第一螺纹块以及设置在所述镀膜室内壁且用于驱动第一螺纹杆的第一步进电机。

3.根据权利要求2所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述内涂单元包括设置在所述第一螺纹块上且与支板滑动配合的第一通道、滑动设置在所述第一通道内壁的第一安装板、贯穿且转动设置在所述第一安装板上的第一注液管、套设在所述第一注液管外壁的套筒、若干组设置在所述第一注液管一端部的第一杆刷、若干组通过l形连杆设置在所述套筒一端部且与第一杆刷反方向转动的第二杆刷、设置在所述第一注液管底部且位于套筒端口的第一喷嘴、设置在所述第一注液管上的第一齿轮、转动设置在所述第一安装板上且通过l形连杆与套筒相连接的内齿环、转动设置在所述第一安装板上且用于同时驱动第一齿轮和内齿环的第二齿轮、设置在所述第一安装板上且用于驱动第二齿轮的第二步进电机、设置在所述第一安装板上的第一磁铁块、设置在所述镀膜室外壁的第一液压件以及设置在所述第一液压件输出轴且与第一磁铁块相匹配的第一通电磁铁。

4.根据权利要求3所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系统,其特征在于,所述外涂单元包括设置在所述第一安装板上且与第一注液管相连通的储液盒、设置在所述第一安装板上且与储液盒相连通的第二注液管、设置在所述第二注液管端部的第二喷嘴以及设置在所述第一安装板上且用于收集管件外壁滴落的废液的回收盒。

5.根据权利要求2所述的一种蒸发镀膜机镀膜抽真空系...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱九菊刘年生安建昊唐欢欢
申请(专利权)人:江苏派莱特光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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