【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，尤其涉及一种支撑桨及镀膜系统。
技术介绍
1、pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子体增强化学气相沉积)设备在电池片生产环节的多道流程中都有应用，比如多晶硅层镀膜、正面氮化硅减反射膜以及背面氮化硅减反射膜等。硅片在镀膜设备中镀膜时，硅片通常放置于石墨舟结构上。石墨舟连接导电电极杆后，能够接收到外部射频电源馈入的电源能量。现有的石墨舟对接电极是通过从炉尾伸入电极，导电杆悬臂，正负极电极头插入位于舟的一端端面中部的电极孔，电极与石墨舟的连接是否紧密决定了外部电源的射频电源能量能否全部馈入石墨舟中。现有结构的电极杆在使用的过程中会变形，导致电极头与石墨舟连接不够紧密，会使得射频电源的能量不能够顺利的馈入到石墨舟中，导致舟整体放电不均匀，硅片成膜均匀性差，会影响电池片最终转换效率。
技术实现思路
1、本专利技术的第一个目的在于提出一种支撑桨，该支撑桨能够支撑舟结构，且能够保证电极与舟结构接触紧密，确保射频电源的能量能够顺利的馈入到舟结构中，确保舟结构整体放电均匀，硅片成膜均匀性好，从而确保电池片最终转换效率。
2、本专利技术的第二个目的在于提出一种镀膜系统，该镀膜系统的结构简单，制造成本低，且运行可靠性高。
3、为实现上述技术效果，本专利技术的技术方案如下：
4、本专利技术公开了一种支撑桨，所述支撑桨用于承载舟结构进出热炉，所述舟结构具有导电舟脚，所述支撑桨包括：桨
5、本专利技术实施例的支撑桨的有益效果：由于电极的一端从桨本体的表面穿出桨本体，且与舟结构的导电舟脚接触，此时支撑桨不仅起到承载舟结构的作用，而且支撑桨上的电极与舟结构的导电舟脚接触，提供了能量馈入的通道。由于电极和导电舟脚之间接触良好，能够确保射频电源的能量能够顺利的馈入到舟结构中，确保舟结构整体放电均匀，硅片成膜均匀性好，从而确保电池片最终转换效率，此外在工艺过程中，等离子气体难以渗入接触面中，因此在接触面上产生镀膜的几率非常小，同时电极被置于桨本体内，桨本体给电极提供了支撑作用，避免了现有电极悬臂时发生形变的问题，因此也就不会导致电极和导电舟脚接触异常。
6、在一些实施例中，所述电极包括：导电杆，所述导电杆设置于所述桨本体，所述导电杆的第一端伸出所述桨本体且用于与射频电源相连；电极接触部，所述电极接触部连接于所述导电杆的第二端，所述电极接触部穿出所述桨本体且与所述导电舟脚接触。桨本体可以支撑导电杆，导电杆不容易发生形变，能够确保电极接触部稳定地从桨本体上穿出，从而保证电极和导电舟脚的连接稳定性。
7、在一些具体的实施例中，所述电极接触部包括：平直段，所述平直段与所述导电杆相连且穿出所述桨本体；针尖段，所述针尖段的大径端与所述平直段相连，所述针尖段的小径端用于插入所述导电舟脚。
8、在一些具体的实施例中，所述电极接触部包括导电块，所述导电块止抵于所述导电舟脚。
9、在一些实施例中，所述桨本体为中空结构，所述桨本体为多个，多个所述桨本体间隔设置。
10、在一些实施例中，所述电极成对设置，且成对设置的电极分别与所述舟结构的导电舟脚接触。
11、本专利技术还公开了一种镀膜系统，热炉、舟结构以及前文所述的支撑桨，所述支撑桨用于承载所述舟结构。
12、本专利技术的镀膜系统的有益效果，由于具有前文所述的支撑桨，在工艺过程开始前，支撑桨位于热炉外部，搬舟机械手首先将装满片材的舟结构搬到支撑桨上，由于电极的一端从桨本体支撑舟结构的支撑面穿出桨本体，且插入舟结构的导电舟脚，此时支撑桨不仅起到承载舟结构的作用，而且支撑桨上的电极与舟结构的导电舟脚接触，提供了能量馈入的通道。然后支撑桨在推舟机构的带动下，水平移动到热炉内部，炉门和支撑桨相对位置保持固定，当炉门紧密贴合热炉后，推舟机构水平运动停止。在镀膜工艺过程中，舟结构放置在支撑桨上保持固定。工艺过程结束后，支撑桨和炉门在推舟机构的带动下移动远离热炉。然后搬舟机械手将桨上舟结构搬离。在实际工作过程中，推舟机构不需要上下运动，且由于支撑桨内带有电极，无需如现有技术一般在炉口法兰的位置安装电极杆，有利于简化镀膜系统的结构。
13、在一些实施例中，所述舟结构包括：舟片，所述舟片为间隔设置的多个，每个所述舟片的至少一端设有舟耳；导电舟杆，所述导电舟杆成对设置，每一个所述导电舟杆穿设于位于所述舟结构端部的多个所述舟耳；导电舟脚，所述导电舟脚安装于所述导电舟杆的两个端部，所述导电舟脚上具有与电极配合的导电配合部。在实际组装过程中，当多个片材放置到舟片上，然后采用采用导电舟杆将多个舟结构的舟耳穿起来，在导电舟杆的两端安装上导电舟脚，当导电舟脚与电极连接时，多个舟片的两端就能够与射频电源的正负极形成回路实现在片材的镀膜的工艺。
14、在一些具体的实施例中，导电舟脚包括第一配合槽和第二配合槽，所述第一配合槽沿第一方向开设，所述第二配合槽沿第二方向开设，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，所述第一配合槽用于容纳所述导电舟杆的端部，所述第二配合槽构成导电配合部。
15、在一些具体的实施例中，每个所述舟片上均设有用于放置片材的放置位，每组所述放置位包括多个沿所述舟片的长度方向间隔设置的放置位。每个舟片上能够装载更多的片材，从而有利于提升镀膜系统的产能。
16、在一些可选的实施例中，多组所述放置位沿所述舟片的宽度方向间隔设置。每个舟片上能够装载更多的片材，从而有利于提升镀膜系统的产能。
17、在一些具体的实施例中，所述舟结构还包括：绝缘舟杆，所述绝缘舟杆为至少一个，所述绝缘舟杆穿设于多个所述舟片；绝缘舟脚，所述绝缘舟脚安装于所述绝缘舟杆的两个端部。增设的绝缘舟杆和绝缘舟脚能够保证多个舟片的连接稳定性以及绝缘性，从而保证舟结构在实际工作过程中不会出现舟片晃动甚至掉落的现象发生。
18、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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1.一种支撑桨，所述支撑桨用于承载舟结构进出热炉，其特征在于，所述舟结构具有导电舟脚，所述支撑桨包括：
2.根据权利要求1所述的支撑桨，其特征在于，所述电极包括：
3.根据权利要求2所述的支撑桨，其特征在于，所述电极接触部包括：
4.根据权利要求2所述的支撑桨，其特征在于，所述电极接触部包括导电块，所述导电块止抵于所述导电舟脚。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑桨，其特征在于，所述桨本体为中空结构，所述桨本体为多个，多个所述桨本体间隔设置。
6.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑桨，其特征在于，所述电极成对设置，且成对设置的电极分别与所述舟结构的至少两个导电舟脚接触。
7.一种镀膜系统，其特征在于，包括：
8.根据权利要求7所述的镀膜系统，其特征在于，所述舟结构包括：
9.根据权利要求8所述的镀膜系统，其特征在于，所述导电舟脚具有第一配合槽和第二配合槽，所述第一配合槽沿第一方向开设，所述第二配合槽沿第二方向开设，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，所述第一配合槽用于容纳所述导
10.根据权利要求8所述的镀膜系统，其特征在于，每个所述舟片上均设有用于放置片材的放置位，所述放置位包括多个沿所述舟片的长度方向间隔设置的放置位。
11.根据权利要求10所述的镀膜系统，其特征在于，所述放置位为多组，多组所述放置位沿所述舟片的宽度方向间隔设置。
12.根据权利要求8所述的镀膜系统，其特征在于，所述舟结构还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种支撑桨，所述支撑桨用于承载舟结构进出热炉，其特征在于，所述舟结构具有导电舟脚，所述支撑桨包括：
2.根据权利要求1所述的支撑桨，其特征在于，所述电极包括：
3.根据权利要求2所述的支撑桨，其特征在于，所述电极接触部包括：
4.根据权利要求2所述的支撑桨，其特征在于，所述电极接触部包括导电块，所述导电块止抵于所述导电舟脚。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑桨，其特征在于，所述桨本体为中空结构，所述桨本体为多个，多个所述桨本体间隔设置。
6.根据权利要求1-4中任一项所述的支撑桨，其特征在于，所述电极成对设置，且成对设置的电极分别与所述舟结构的至少两个导电舟脚接触。
7.一种镀膜系统，其特征在于，包括：
...【专利技术属性】
技术研发人员：常清华，朱太荣，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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