一个实施例提供一种测试湿度的方法，其包括：确定封围多个干涉式调制器的装置的性质；和至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。在一个实施例中，所述装置的所述性质包含以下中的一者：ｉ）所述装置的重量，ｉｉ）...

在一实施例中，本发明提供一种ＭＥＭＳ装置。所述ＭＥＭＳ装置包含：复数个功能性组件，所述功能性组件包括至少一个可移动组件；和一牺牲组件，以至少减少运送所述微机电系统装置期间所述可移动组件的移动，其中可在运送后去除所述牺牲组件。