测试密封的微机电系统装置中的湿度的系统和方法制造方法及图纸

一个实施例提供一种测试湿度的方法，其包括：确定封围多个干涉式调制器的装置的性质；和至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。在一个实施例中，所述装置的所述性质包含以下中的一者：ｉ）所述装置的重量，ｉｉ）封围在所述装置中的干燥剂的变色，ｉｉｉ）所述装置内的电阻，ｉｖ）所述装置的由指形冷冻器装置接触的内部区域中是否形成霜，ｖ）当将水蒸气提供到所述装置中时，封围在所述装置中的干燥剂是否适当地起作用，和ｖｉ）ｉ）到ｖ）中至少两者的组合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种测试湿度的方法，其包括：确定封围多个干涉式调制器的装置的性质；和至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：布莱恩J加利，洛朗帕尔玛蒂尔，马尼什科塔里，威廉J卡明斯，
申请(专利权)人：IDC公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]