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湖州中芯半导体科技有限公司专利技术
湖州中芯半导体科技有限公司共有76项专利
一种CVD试验机抽气装置制造方法及图纸
本技术涉及一种CVD试验机抽气装置,包括装置本体,所述装置本体的上端设有抽气上盖,所述抽气上盖中部设有密封台阶,且所述抽气上盖下端螺栓连接下板,且所述抽气上盖上端中部设有矩形箱,且所述抽气上盖上端四周边缘位置设有一号冷却水路,所述矩形箱...
一种CVD镀膜装置制造方法及图纸
本技术涉及一种CVD镀膜装置,包括装置本体,所述装置主体后端内表面下侧设有下循环口,所述装置本体下端内表面设有置物台,所述置物台的左右两端与装置本体之间均设有收纳块,所述收纳块远离置物台的内壁前后对称设有弹力件,所述弹力件与伸缩杆靠近置...
一种CVD立式双轴齿轮减速机制造技术
本技术涉及一种CVD立式双轴齿轮减速机,包括主体,所述主体上端中部设有输出轴,且所述主体下端固定连接前盖,所述前盖下端中部设有花键轴,所述花键轴下端设有花键齿,所述花键齿的外圆周表面均匀分布三个分压槽,中部所述分压槽的上端居中设有加油口...
一种大尺寸金刚石膜散热片制造技术
本技术涉及一种大尺寸金刚石膜散热片,包括大散热片,所述大散热片由四个小散热片连接而成,所述小散热片包括基片,所述基片上端设有中间层,所述中间层上端设有金刚石膜层,所述基片下端前侧边缘位置设有凹槽,且所述基片下端右侧边缘位置设有凸块,所述...
一种CVD金刚石激光切割设备制造技术
本技术涉及一种CVD金刚石激光切割设备,包括底框,底框右侧上端固定连接竖直框,竖直框上端固定连接梯形框,底框右侧设有一号电机,一号电机左侧设有输出轴,输出轴固定连接一号螺纹杆,一号螺纹杆上螺纹连接一号滑动块,且所述底框内侧均匀设有一对辅...
一种耐高热CVD微波窗口制造技术
本技术涉及一种耐高热CVD微波窗口,包括微波进口,所述微波进口上端设有阀门,且所述微波进口下端设有微波发生器,所述微波发生器下端设有反射通道,所述反射通道内表面下侧螺纹连接反应室,所述反应室内部上方设有散光透镜,所述反应室右端下侧设有放...
一种金刚石膜片制作装置及其制作方法制造方法及图纸
本发明涉及一种金刚石膜片制作装置及其制作方法,包括石英玻璃室,所述石英玻璃室上端设有真空泵,且石英玻璃室的左右两侧中心位置均密封连接波导管,所述波导管相互远离的一端连接有微波发生器,且波导管上下端分别设有通气管道,所述通气管道密封连接石...
一种导热高的金刚石膜散热片制造技术
本实用新型涉及一种导热高的金刚石膜散热片,包括底基片,所述底基片上端设有过渡层,所述过渡层上端为金刚石层,所述底基片和过渡层均为C字形结构,且底基片上端两侧均设有限位片,所述限位片固定连接在底基片上,且限位片下端设有L型块,所述L型块设...
一种CVD金刚石精准磨削设备制造技术
本实用新型涉及一种CVD金刚石精准磨削设备,包括支架座,所述支架座上端固定连接底座,所述底座四个侧边连接有相同的固定片,且底座上端设有调节固定台,所述调节固定台后侧设有调节磨削机构;调节固定台,所述调节固定台中设有两个相同的滑道底座,所...
一种高精度CVD金刚石微细磨削工具制造技术
本发明涉及一种高精度CVD金刚石微细磨削工具,包括底座,底座下端设有四个相同的支架,且底座上表面左侧设有磨砂轮结构,上表面右侧设有观察收集台,底座上端连接有滑动机构;磨砂轮结构,磨砂轮结构包括磨砂带,磨砂带贯穿在底座表面,做正常转动,其...
一种自适应CVD金刚石生长载台制造技术
本实用新型公开了一种自适应CVD金刚石生长载台,包括反应腔体,反应腔体上端设有进气管道,且反应腔体下端右侧设有进料口,内侧设有放料托盘,放料托盘下端固定连接支撑杆,支撑杆下端固定连接升降装置,整个装置密封性强,实现放料托盘的自适应,确保...
一种CVD金刚石生长自动测温装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种CVD金刚石生长自动测温装置,包括底座,底座上端左侧设有配重块,右侧设有固定杆,固定杆顶端固定连接刻度盘,刻度盘上端转动连接转动杆,转动杆顶端固定连接L型金属台,L型金属台上端内侧设有测温装置,整个装置稳定性好,转动...
一种CVD金刚石生长散热冷却装置制造方法及图纸
本实用新型涉CVD金刚石生长设备领域,尤其涉及一种CVD金刚石生长散热冷却装置,包括真空腔体,真空腔体的顶部连通有微波发生器,其底部固定连接有样品台,其侧壁上连通有进气机构,微波发生器上固定有微波天线,微波天线通过第一连通管连通有冷却箱...
一种CVD金刚石生长设备气体过滤装置制造方法及图纸
本实用新型涉CVD金刚石生长设备领域,尤其涉及一种CVD金刚石生长设备气体过滤装置,包括包括真空腔体,真空腔体的顶端连通有微波发生器,其底部固定连接有样品台,样品台的顶面中间位置处固定连接有晶种托盘,真空腔体的侧壁上连通有进气管,进气管...
一种改善微波透过率的CVD窗口制造技术
本实用新型公开了一种改善微波透过率的CVD窗口,包括微波进口,微波进口一端下方固定连接微波发生装置,微波发生装置下端固定连接反应腔体,反应腔体右侧偏下端固定连接放料口,整个装置微波透过率高,安装方便,密封性强,使用寿命长。使用寿命长。使...
一种改善气体分布的CVD金刚石生长设备制造技术
本实用新型涉CVD金刚石生长设备领域,尤其涉及一种改善气体分布的CVD金刚石生长设备,包括一种改善气体分布的CVD金刚石生长设备,包括生长腔体,生长腔体的顶端固定连接有中空的环形块,环形块的内壁均匀地分布有一圈通气孔,其外壁连通有U型连...
一种用于MPCVD金刚石的制备装置制造方法及图纸
本发明涉及金刚石制备技术领域,且公开了一种用于MPCVD金刚石的制备装置,包括底座,底座的底面设置基底物预处理机构,基底物预处理机构包括固定杆、弧片一、弧片二、圆环和连杆,固定杆为实心圆柱体,固定杆的上端面与底座底面固定连接,通过各个弧...
一种MPCVD金刚石高效合成工艺及其装置制造方法及图纸
本发明涉及金刚石技术领域,且公开了一种MPCVD金刚石高效合成工艺及其装置,包括基座、施压机构、输送机构、侧压机构和支撑机构,基座的顶面开设有合成槽,基座在合成槽下方的内部开设有冷却槽,合成槽和冷却槽内设置有输送机构,输送机构包括两个螺...
一种MPCVD金刚石切割装置制造方法及图纸
本发明涉及金刚石加工技术领域,且公开了一种MPCVD金刚石切割装置,包括套入筒,套入筒后沿外壁等间距开设有六个连接槽,连接槽的底面开设有螺纹孔,连接槽的内壁套入且螺纹连接有连接框架,连接框架的背面连接有活动连接板A,活动连接板A的底面连...
一种MPCVD金刚石打磨装置制造方法及图纸
本发明涉及金刚石加工技术领域,且公开了一种MPCVD金刚石打磨装置,包括底座,底座的右侧面设有矩形凸起且固定安装有转动电机,转动电机的传动轴固定连接有砂轮盘,底座的背侧顶面开设有槽且槽内固定安装有十字导轨,十字导轨的传动轴固定连接有移动...
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