一种CVD金刚石生长自动测温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种CVD金刚石生长自动测温装置，包括底座，底座上端左侧设有配重块，右侧设有固定杆，固定杆顶端固定连接刻度盘，刻度盘上端转动连接转动杆，转动杆顶端固定连接L型金属台，L型金属台上端内侧设有测温装置，整个装置稳定性好，转动方便，可以进行全方位角度调节，结构简单，测温方便，使用寿命长。使用寿命长。使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】
一种CVD金刚石生长自动测温装置


[0001]本技术涉及CVD金刚石生产工艺
，具体为一种CVD金刚石生长自动测温装置。

技术介绍

[0002]在CVD金刚石生产过程中，需要其反应腔体内的温度处在恒定范围值内，确保CVD金刚石析出的效率稳定，现有技术中测量CVD金刚石生长的测温装置大多无法进行角度的调节，且无法实现任意角度调节测温，也没有装置可以实现测温的保护和保养，延长其使用寿命，现亟待一种CVD金刚石生长自动测温装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种CVD金刚石生长自动测温装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0005]一种CVD金刚石生长自动测温装置，包括底座，底座上端左侧设有配重块，右侧设有固定杆，固定杆顶端固定连接刻度盘，刻度盘上端转动连接转动杆，转动杆顶端固定连接L型金属台，L型金属台上端内侧设有测温装置。
[0006]作为优选，L型金属台包括基板和立板，基板一侧和立板一侧固定连接形成L型金属本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD金刚石生长自动测温装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)上端左侧设有配重块(2)，右侧设有固定杆(3)，所述固定杆(3)顶端固定连接刻度盘(4)，所述刻度盘(4)上端转动连接转动杆(5)，所述转动杆(5)顶端固定连接L型金属台(6)，所述L型金属台(6)上端内侧设有测温装置(7)。2.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石生长自动测温装置，其特征在于，所述L型金属台(6)包括基板(8)和立板(9)，所述基板(8)一侧和立板(9)一侧固定连接形成L型金属台(6)，且基板(8)上设有清洁海绵(10)，立板(9)靠近基板(8)一侧设有第二刻度盘(11)，所述第二刻度盘(11)中心位置设有转轴(12)。3.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石生长自动测温装置，其特征在于，所述测温装置(7)包括测温仪(13)，所述测温仪(13)中心位置固...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宏明，林琳，
申请(专利权)人：湖州中芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：