下载一种CVD金刚石生长自动测温装置的技术资料

文档序号:34062403

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本实用新型公开了一种CVD金刚石生长自动测温装置,包括底座,底座上端左侧设有配重块,右侧设有固定杆,固定杆顶端固定连接刻度盘,刻度盘上端转动连接转动杆,转动杆顶端固定连接L型金属台,L型金属台上端内侧设有测温装置,整个装置稳定性好,转动方便...
该专利属于湖州中芯半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖州中芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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