一种耐高热CVD微波窗口制造技术

本技术涉及一种耐高热CVD微波窗口，包括微波进口，所述微波进口上端设有阀门，且所述微波进口下端设有微波发生器，所述微波发生器下端设有反射通道，所述反射通道内表面下侧螺纹连接反应室，所述反应室内部上方设有散光透镜，所述反应室右端下侧设有放料口，且所述反应室圆周外表面上侧均匀分布矩形块；通过金属反光层，将散射在金属反光层的微波通过反射在透光玻璃上，提高微波透过率；通过散光透镜，使得微波分布均匀，使得碳氢化合物受热均匀并充分分解，提高成品率，减少原料的消耗；通过透光玻璃设置防爆薄膜，防止透光玻璃因常处于高热环境而发生破碎。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及cvd生产工艺，尤其涉及一种耐高热cvd微波窗口。

技术介绍

1、在微波的作用下，使得cvd窗口中的碳氢化合物在高温下分解，气相碳在基体上沉淀，形成具有金刚石晶体结构薄膜，因此确保cvd窗口的密封性、确保微波在反应室中均匀分布促使cvd窗口中的碳氢化合物充分分解，能够节省原料，以及提高金刚石晶体结构薄膜的成品率，因此，我们在原有的cvd窗口上进行改良，设计了一种耐高热cvd微波窗口。

2、专利号cn202123070799.6为的一篇中国技术专利，其公开了一种改善微波透过率的cvd窗口，包括微波进口，微波进口一端下方固定连接微波发生装置，微波发生装置下端固定连接反应腔体，反应腔体右侧偏下端固定连接放料口，整个装置微波透过率高，安装方便，密封性强，使用寿命长，但是该技术存在以下问题：其一不具备对透光玻璃进行防爆处理，在长期高温的作用下透光玻璃存在破碎的可能，其次不具备促使反应室内部碳氢化合物充分分解的作用。

技术实现思路

1、本技术的目的是针对现有技术的不足之处，通过金属反光层、散光透镜、防爆薄膜，解决了cvd窗口微波透过率低、长时间高热环境易损坏、碳氢化合物分解不充分的技术问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种耐高热cvd微波窗口，包括微波进口，所述微波进口上端设有阀门，且所述微波进口下端设有微波发生器，所述微波发生器下端设有反射通道，所述反射通道内表面下侧螺纹连接反应室，所述反应室内部上方设有散光透镜，所述反应室右端下侧设有放料口，且所述反应室圆周外表面上侧均匀分布矩形块。

4、作为一种优选，所述反射通道包括圆柱台和倒l型台阶，所述圆柱台的内表面设有金属反光层。

5、作为一种优选，所述倒l型台阶的上端内表面设有密封圈，且所述倒l型台阶的圆周内表面设有内螺纹。

6、作为一种优选，所述反应室上端设有正l型台阶，所述正l型台阶圆周外表面设有外螺纹，且所述正l型台阶的内表面抵接透光玻璃，所述外螺纹与内螺纹结构相匹配。

7、作为一种优选，所述透光玻璃为石英玻璃，且所述透光玻璃上端表面覆盖防爆薄膜。

8、作为一种优选，所述散光透镜上端左右对称设有连接件，所述连接件上端连接反应室的内壁。

9、本技术的有益效果：

10、(1)本技术中通过在反射通道设置金属反光层，利用金属材料特性，将散射在金属反光层的微波通过反射在透光玻璃上，使得进入反应室的微波数量增加，从而提升微波透过率。

11、(2)本技术中通过设置散光透镜，利用折射的原理将微波散射在反应室的每个角落，分布均匀的微波使得碳氢化合物受热均匀，充分分解，以此提高金刚石晶体结构薄膜的成品率，减少原料的消耗。

12、(3)本技术中通过透光玻璃设置防爆薄膜，防止透光玻璃因常处于高热环境而发生破碎，提高cvd窗口的防护性，提高安全等级。

13、综上所述，该设备具有结构简单，耐高热、微波透过率高的优点，尤其适用于cvd生产工艺

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【技术保护点】

1.一种耐高热CVD微波窗口，其特征在于：包括微波进口(1)，所述微波进口(1)上端设有阀门(11)，且所述微波进口(1)下端设有微波发生器(2)，所述微波发生器(2)下端设有反射通道(3)，所述反射通道(3)内表面下侧螺纹连接反应室(4)，所述反应室(4)内部上方设有散光透镜(41)，所述反应室(4)右端下侧设有放料口(5)，且所述反应室(4)圆周外表面上侧均匀分布矩形块(44)。

2.根据权利要求1所述的一种耐高热CVD微波窗口，其特征在于，所述反射通道(3)包括圆柱台(31)和倒L型台阶(32)，所述圆柱台(31)的内表面设有金属反光层(311)。

3.根据权利要求2所述的一种耐高热CVD微波窗口，其特征在于，所述倒L型台阶(32)的上端内表面设有密封圈(321)，且所述倒L型台阶(32)的圆周内表面设有内螺纹。

4.根据权利要求1所述的一种耐高热CVD微波窗口，其特征在于，所述反应室(4)上端设有正L型台阶(42)，所述正L型台阶(42)圆周外表面设有外螺纹，且所述正L型台阶(42)的内表面抵接透光玻璃(6)，所述外螺纹与内螺纹结构相匹配。

5.根据权利要求4所述的一种耐高热CVD微波窗口，其特征在于，所述透光玻璃(6)为石英玻璃，且所述透光玻璃(6)上端表面覆盖防爆薄膜(61)。

6.根据权利要求1所述的一种耐高热CVD微波窗口，其特征在于，所述散光透镜(41)上端左右对称设有连接件(43)，所述连接件(43)上端连接反应室(4)的内壁。

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【技术特征摘要】

1.一种耐高热cvd微波窗口，其特征在于：包括微波进口(1)，所述微波进口(1)上端设有阀门(11)，且所述微波进口(1)下端设有微波发生器(2)，所述微波发生器(2)下端设有反射通道(3)，所述反射通道(3)内表面下侧螺纹连接反应室(4)，所述反应室(4)内部上方设有散光透镜(41)，所述反应室(4)右端下侧设有放料口(5)，且所述反应室(4)圆周外表面上侧均匀分布矩形块(44)。

2.根据权利要求1所述的一种耐高热cvd微波窗口，其特征在于，所述反射通道(3)包括圆柱台(31)和倒l型台阶(32)，所述圆柱台(31)的内表面设有金属反光层(311)。

3.根据权利要求2所述的一种耐高热cvd微波窗口，其特征在于，所述倒l型台阶(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宏明，林琳，
申请(专利权)人：湖州中芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：