本实用新型公开一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置，包括蒸发罐、脱重精馏塔、脱轻精馏塔和高纯液氨成品罐，蒸发罐顶部直接与脱重精馏塔底部连接，脱轻精馏塔底部直接与高纯液氨成品罐顶部连接，脱重精馏塔顶部出气口通过第一出气管线与第一冷凝器进...

本发明属于集成电路电子化学品领域，具体涉及一种SiGe和Si的选择性蚀刻液的制备及其使用方法。所述蚀刻液主要用于SiGe的湿法刻蚀，对SiGe具有良好的选择性，且对Si的腐蚀性弱，主要成分包括1~15%的复合氧化剂、1~15%的氟源、3...

一种硫酸生产尾气吸收装置，包括有吸收系统和缓存系统，吸收系统包括有第一吸收塔、第二吸收塔和第三吸收塔，所述第一吸收塔、第二吸收塔和第三吸收塔的首尾通过输料管相互连通，第一吸收塔的顶部连通进气管；缓存系统包括有缓存槽，所述缓存槽通过输料管...

本发明属于集成电路电子化学品领域，具体涉及一种高选择性锗蚀刻液。所述高选择性锗蚀刻液主要用于相对硅选择性蚀刻锗，组成包括氧化剂、氟离子源、添加剂和超纯水。该蚀刻液利用氧化剂将锗被氧化形成氧化物；锗的氧化物通过与氟离子源络合溶解而被去除；...

一种超高纯电子级氨水的生产方法，工业液氨经过两级过滤、氧化、汽化、纯化、吸附、过滤、水合吸收、过滤等工序，首先液氨通过偏心射流微孔反应器，并在反应器中加入氧化液，脱除氨水中的还原性物质，脱除易氧化物的氨水经过丝网过滤器、活性炭过滤后进入...

一种电子级硫酸槽车灌装装置及使用方法，装置包括有槽车、灌装台、残液收集罐和液相粒子计数器，槽车的顶部连通有输气管和输液管，所述输气管在灌装台内与进气管相连通，输液管在灌装台内与进液管相连通，输气管和进气管与排气管相连通，液相粒子计数器通...

本发明涉及一种铜钼蚀刻液及其制备方法。在本发明中，双氧水，双氧水稳定剂，无机酸，螯合剂，蚀刻抑制剂，表面活性剂，有机碱和去离子水构成铜钼叠层的蚀刻液。蚀刻液对金属铜、钼进行蚀刻的过程中，蚀刻液对金属铜、钼的蚀刻速率基本一致，多层金属之间...

本发明公开一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置和生产方法，包括蒸发罐、脱重精馏塔、脱轻精馏塔和高纯液氨成品罐，蒸发罐顶部直接与脱重精馏塔底部连接，脱轻精馏塔底部直接与高纯液氨成品罐顶部连接，脱重精馏塔顶部出气口通过第一出气管线与第一冷...

本发明提供一种超高纯电子级氯化氢及电子级盐酸的生产方法，将氯碱工业产生的氯气采用低温过滤、浓硫酸循环吸收干燥、分级络合吸附得到高纯氯气，氯碱工业产生的氢气通过深冷过滤、多级变压吸附得到高纯氢气，再将高纯氯气与高纯氢气在合成塔里面燃烧生产...

本发明涉及一种磷酸基蚀刻液及其配制方法。一种磷酸基蚀刻液其主要成分包括占蚀刻液总重量50

本实用新型提供一种液体三氧化硫安全卸车保压系统，三氧化硫罐设置在运输车上，三氧化硫罐一侧设有氮气罐，氮气罐通过氮气管道与三氧化硫罐连通，三氧化硫罐上设有卸料管道，卸料管道与氮气管道之间连通，且氮气管道与卸料管道之间设有第五电动阀门，卸料...

一种移动式草酸成品搅拌装置，包括有旋转电机、底板和夹紧装置，底板的四角处安设有万向轮，底板上端面的两侧垂直安设有伸缩支撑柱，所述伸缩支撑柱的内部套接有伸缩杆，伸缩杆与液压电机的传动系统相连接并可沿着伸缩支撑柱的内壁上下滑动，伸缩杆的顶部...

一种化学品包装桶开桶装置器，包括有开桶套筒，开桶套筒的上端面设有第一卡位齿板，开桶套筒的下端面连接有第二卡位齿板，开桶套筒的侧壁处固定连接有力矩板头，所述力矩板头的另一端连接伸缩杆；本实用新型采用特制的开桶套头，能够完全适配常用的化学品...