一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置和生产方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置和生产方法，包括蒸发罐、脱重精馏塔、脱轻精馏塔和高纯液氨成品罐，蒸发罐顶部直接与脱重精馏塔底部连接，脱轻精馏塔底部直接与高纯液氨成品罐顶部连接，脱重精馏塔顶部出气口通过第一出气管线与第一冷凝器进气口连接，第一冷凝器出液口分别与第一回流管线一端及第一进液管线一端连接，第一回流管线另一端与脱重精馏塔回流口连接，第一进液管线另一端与脱轻精馏塔进液口连接，脱轻精馏塔顶部出气口通过第二出气管线与第二冷凝器进气口连接，第二冷凝器出液口分别与第二回流管线一端及杂组份放空管线连接；本发明专利技术能够有效达到精馏提纯氨气的目的，同时又能减少中间罐和机械泵的使用。械泵的使用。械泵的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置和生产方法


[0001]本专利技术涉及特种气体领域，具体地指一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置和生产方法。

技术介绍

[0002]近年来，中国半导体照明行业稳步发展，特别是光伏行业在国家政策支持甚至财政补贴下市场化水平进一步提升，集成电路、平板显示面板在经济及社会加速信息化、数字化的大背景下市场规模不断扩大，尤其是随着第三代半导体的发展，将进一步增大电子级高纯氨的使用，电子级高纯氨是指用于半导体照明、集成电路、平板显示面板、太阳能电池等光电子和微电子领域的高纯氨产品，纯度通常为≥7N。
[0003]目前主流超纯氨制取方法基本上都利用活性炭和分子筛吸附器除去部分水和油，再经脱氧剂吸附器除去部分氧，再经过一级或者二级简单精馏至中间罐，最后经终端纯化器得到超纯氨产品。此类装置的缺点是工艺流程太长，设备多、投资多。
[0004]综上所述，现有的针对高纯氨气的生产工艺流程长，需要增加大量的中间罐和泵，不仅增加投资成本，同时大量机械泵易发生故障，因此要开发一种稳定运行且低成本的高纯氨气生产装置及生产本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置，包括蒸发罐（1）、脱重精馏塔（2）、脱轻精馏塔（3）和高纯液氨成品罐（4），其特征在于：所述蒸发罐（1）顶部直接与脱重精馏塔（2）底部连接，所述脱轻精馏塔（3）底部直接与高纯液氨成品罐（4）顶部连接，所述脱重精馏塔（2）顶部出气口通过第一出气管线（5）与第一冷凝器（6）进气口连接，第一冷凝器（6）出液口分别与第一回流管线（7）一端及第一进液管线（8）一端连接，第一回流管线（7）另一端与脱重精馏塔（2）回流口连接，第一进液管线（8）另一端与脱轻精馏塔（3）进液口连接，所述脱轻精馏塔（3）顶部出气口通过第二出气管线（9）与第二冷凝器（10）进气口连接，第二冷凝器（10）出液口分别与第二回流管线（11）一端及杂组份放空管线（12）连接。2.根据权利要求1所述的一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置，其特征在于：所述蒸发罐（1）内设有升温管（13），所述高纯液氨成品罐（4）内设有热交换管（14）。3.根据权利要求1所述的一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置，其特征在于：所述升温管（13）内通入30
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38℃热水，所述热交换管（14）内通入29
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34℃热水。4.根据权利要求1所述的一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置，其特征在于：所述蒸发罐（1）罐底设有排液管（15），罐顶与液氨进料管线（16）连接，所述高纯液氨成品罐（4）底部设有成品液氨采出管线（17），液氨进料管线（16）与原料罐连接。5.根据权利要求1所述的一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置，其特征在于：所述蒸发罐（1）蒸发温度为30
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38℃，所述脱重精馏塔（2）塔釜温度为30
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35℃，塔顶温度为25~32℃；所述脱轻精馏塔（3）塔釜温度为29
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34℃，塔顶温度为28
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33℃。6.根据权利要求1所述的一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置，其特征在于：所述脱重精馏塔（2）的摩尔回流比为0.1~1，所述脱轻精馏塔（3）的摩尔回流比为6~18。7.根据权利要求1所述的一种蒸发精馏集成生产高纯氨气的生产装置，其特征在于：所述蒸发罐（1）顶部与脱重精馏塔（2）底部连接的位置处设有除雾器（...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘悦，杨着，贺兆波，叶瑞，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：