八氟环丁烷的回收提纯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及化工设备技术领域，特别涉及一种八氟环丁烷的回收提纯装置，包括连续设置的脱重塔、脱轻塔、第一精馏塔、第二精馏塔，以及它们所对应设置的再沸器；其中，所述脱重塔具有用于引入八氟环丁烷粗品的第一管线；所述脱轻塔具有连通所述脱重塔塔顶的第二管线；所述第一精馏塔具有连通所述脱轻塔塔釜的第三管线；所述第二精馏塔具有连通所述第一精馏塔塔顶的第四管线。由本实用新型专利技术所提供的八氟环丁烷回收提纯装置所提纯得到的八氟环丁烷的纯度可达到99.999％。的纯度可达到99.999％。的纯度可达到99.999％。

【技术实现步骤摘要】
八氟环丁烷的回收提纯装置


[0001]本技术涉及化工设备
，特别涉及一种八氟环丁烷的回收提纯装置。

技术介绍

[0002]目前，全球电子气体市场中，含氟系列电子气体约占其总量的30％左右，含氟电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的重要组成部分，主要用作清洗剂、蚀刻剂，也可用于掺杂剂、成膜材料等。八氟环丁烷是一种用途十分广泛并且化学性能稳定的全氟环烷烃。
[0003]作为常用的半导体工艺的蚀刻或清洗气体之一，八氟环丁烷质量的好坏直接决定半导体器件的性能。在半导体制程中，进行气体蚀刻，以便分除去薄膜材料，从而形成能构成半导体的电路图。同时，用清洁气体除去沉积物，以除去在薄膜形成期间沉积在反应器内侧的薄膜材料。
[0004]随着半导体器件的升级换代，对刻蚀和清洗气体的纯度要求也越来越苛刻，并提出了“超纯、超净、超前”的发展要求，以适应电子行业的飞速发展。随着人们对电子产品的需求迅速增长，高纯、超高纯的含氟电子气体的市场需求量也急剧增长，高纯八氟环丁烷需求量将逐年上升，八氟环丁烷的制备及纯化工艺研究也受到了更多关注，应用前景十分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.八氟环丁烷的回收提纯装置，其特征在于，包括连续设置的脱重塔、脱轻塔、第一精馏塔、第二精馏塔，以及它们所对应设置的再沸器；其中，所述脱重塔具有用于引入八氟环丁烷粗品的第一管线；所述脱轻塔具有连通所述脱重塔塔顶的第二管线；所述第一精馏塔具有连通所述脱轻塔塔釜的第三管线；所述第二精馏塔具有连通所述第一精馏塔塔顶的第四管线。2.根据权利要求1所述回收提纯装置，其特征在于，还包括依次通过管线连接的干燥器、第一冷凝器和储罐；所述干燥器具有连通所述第二精馏塔塔顶的第五管线。3.根据权利要求1所述回收提纯装置，其特征在于，还包括第六管线，所述第六管线分别与所述脱重塔的塔釜、第一精馏塔的塔釜...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳艾霞，徐美燚，徐万鑫，赵士刚，赵中方，
申请(专利权)人：福建三农新材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：